JEL-Leading Manufacturer of Clean Robot


제4회 차세대 조명전의 보고

도쿄 빅사이트에서 개최되었던 제4회 차세대 조명 기술전(기간 1/18~20)은 성황리에 종료되었습니다. 바쁘신 가운데도 불구하고 많은 고객 분들이 당사 부스를 방문해 주셔서 대단히 감사합니다. 이 자리를 빌려 깊이 감사 드립니다.

기간 : 2012년 01월 18일(수)~20일(금)
회장 : 도쿄 빅사이트 서쪽 전시동
폐사 부스 번호 : 서 L1-4

출전제품안내

배치(서셉터, 트레이)로의 로드/언로드 시스템 : SSY-10020

Loader/Unloader System for Batch Processing of Susceptors or Trays. : SSY-10020

LED용을 비롯한 새로운 웨이퍼용 반송 시스템에 관한 제안입니다. 서셉터(트레이)로 웨이퍼의 자동 공급 및 자동 회수를 위한 시스템을 제안합니다.

휘거나 얇은 웨이퍼 대응 척

End-Effector for Thin or Warped Wafer

많은 고객의 요구에 맞추어 저렴하면서 휘거나 얇은 웨이퍼에 대응 가능한 척을 개발. 고객의 콘셉트에 맞춘 척 형상을 제안합니다.

2 인치 웨이퍼 대응 초소형 반송 로봇/얼라이너: SSCR3090S-150-PM/SAL2241

Super Compact Clean Robot & Aligner for Handling 2 inch-Wafer: SSCR3090S-150-PM/SAL2241

세계 최고 수준의 최소 및 경량 설계를 실현 했습니다. Aligner는 2~4inch Wafer의 Alignment를 1대로 실시 합니다.

탁상 로더 시스템 : SSY-10000

Table-top Loader System : SSY-10000

사람이 손으로 웨이퍼를 취급하는 것에 따른 리스크를 해소하고, 품질 안정과 수율 향상을 목적으로 한 웨이퍼 공급 시스템을 제안합니다.

2~6인치 웨이퍼 대응 소형 반송 로봇/얼라이너 : SCR3100S-200-PM/SAL3261GR

Compact Clean Robot & Aligner for Handling 2-6-inch Wafer : SCR3100S-200-PM/SAL3261GR

2~6인치 웨이퍼를 1대의 로봇과 얼라이너로 반송하는 것을 실현하였습니다. 콤팩트한 반송부를 제안합니다.


전시회 메뉴