OPTO Taiwan 2012
대만에서 자사 판매 창구, Challentech International Corporation의 부스에서 저희 로봇을 출전합니다.
참석해 주신 많은 방문객들께 감사 드립니다.
개최일 : 2012년 06월 19일(화)~21일(목)
회장 ：TWTC Nangang Exhibition Hall, Taiwan
출전제품안내
SCR3100S-200-PM (베르누이 척)
저비용으로 휘어진 웨이퍼나 얇은 웨이퍼에 대응 가능한 척입니다.샘플 웨이퍼에 의한 검증을 실시하여, 고객의 임의의 형상으로 각종 사이즈, 휘어진 정도, 웨이퍼 두께에 대응한 설계를 합니다.
SCR + SAL3261GR
2~6 인치 Wafer를 1대의 Robot, Aligner로 반송 하는 것을 실현했습니다. Compact한 반송부를 제안합니다.
배치, 서셉터, 트레이 로의 로드/언로드 시스템 ：SSY-10020
LED용을 비롯한 새로운 웨이퍼용 반송 시스템에 관한 제안입니다. 서셉터(트레이)로 웨이퍼의 자동 공급 및 자동 회수를 위한 시스템을 제안합니다.