SEMICON Taiwan 2012
대만에서 자사 판매 창구, Challentech International Corporation의 부스에서 저희 로봇을 출전합니다.
참석해 주신 많은 방문객들께 감사 드립니다.
기간 : 2012년 09월 05일~07일
회장 : TWTC Nangang Exhibition Hall
폐사 부스 번호 : 324
출전제품안내
6인치/12인치 Wafer용 Bernoulli Hand
6인치/12인치 Wafer용 Bernoulli hand로 Sample용 Wafer를 유지하는 Demo를 실행했습니다.
・저비용으로 휘어진 웨이퍼나 얇은 웨이퍼에 대응 가능한 척입니다.
・폐사의 대기 환경용 반송 로봇이면 어떠한 타입의 로봇에도 탑재 가능합니다.
・샘플 웨이퍼에 의한 검증을 실시하여, 고객의 임의의 형상으로 각종 사이즈, 휘어진 정도, 웨이퍼 두께에 대응한 설계를 합니다.
SCR3100S-200-PM (베르누이 척)
저비용으로 휘어진 웨이퍼나 얇은 웨이퍼에 대응 가능한 척입니다.샘플 웨이퍼에 의한 검증을 실시하여, 고객의 임의의 형상으로 각종 사이즈, 휘어진 정도, 웨이퍼 두께에 대응한 설계를 합니다.
SCR + SAL3261GR
2~6 인치 Wafer를 1대의 Robot, Aligner로 반송 하는 것을 실현했습니다. Compact한 반송부를 제안합니다.
배치, 서셉터, 트레이 로의 로드/언로드 시스템 ：SSY-10020
LED용을 비롯한 새로운 웨이퍼용 반송 시스템에 관한 제안입니다. 서셉터(트레이)로 웨이퍼의 자동 공급 및 자동 회수를 위한 시스템을 제안합니다.