Semicon Japan 2012
마쿠하리멧세에서 개최된 세미컴·재팬 2012(기간12/5∼7)은, 성황리에 무사히 종료했습니다. 바쁘신 중에도 불구하고, 당사 부스를 방문해 주신분께 이 자리를 빌어 깊이 감사의 말씀을 드립니다.
개최일자 : 2012년 12월 05일~07일
개최장소 : 마쿠하리 멧세(Makuhari Messe)
폐사 부스 번호 : 4B-607
출전제품안내
450㎜ 웨이퍼 반송 로봇/얼라이너：
「GTCR5365-420-AM/MTCR4240-420-AM+주행축/SAL3CJ1」
450㎜ 웨이퍼의 반송 로봇과 얼라이너를 제안합니다.
주행축없이 수평 액세스 가능한 타입과 주행축 첨부 타입을 출전 하겠습니다.
고객의 요구에 맞은 반송의 제안을 실시합니다.
쳐짐, 박막 웨이퍼 대응 베르누이 Chuck（JEL제품）
많은 고객의 요구에 응답해, 저렴한 가격의 베르누이Chuck을 개발 했습니다.
휘어진 상태・박막 Wafer 대응 Chuck으로써, 고객의 장치 컨셉에 맞춘 Chuck 형상으로의 제안을 실시합니다.
전시회에서는 300㎜ 웨이퍼와 가지고 있는150-300mm인치 워크에서, 테스트가 가능 합니다.
박막150㎜、200㎜ 웨이퍼 대응 트윈암 반전기구 부착 반송 로봇/얼라이너：
「NEW STCR4160S-300-PM（가칭）/SAL3481」
박막 웨이퍼의 반송을, JEL제품 베르누이 Chuck으로 제안합니다.
150㎜、200㎜ 박막 웨이퍼를, 트윈암 반전 기구의 로봇으로 반송합니다.
또, 150㎜、200㎜ 겸용의 박막용 얼라이너도 함께 제안합니다. 양쪽 암 모두 반전기구 부착으로 150㎜、200㎜를 동시에 반송합니다.
2-3인치, 100-150㎜ 웨이퍼 대응 소형반송 로봇/얼라이너：
「SCR3100S-200-PM/SAL3261GR」
1대의 로봇과 1대의 얼라이너로, 2-3인치, 100-150㎜ 웨이퍼에 대응합니다.
컴팩트하고 플렉시빌리티가 풍부한 장치를 제안합니다.