SEMICON CHINA 2017
SEMICON CHINA 2017 은 성황리에 종료되었습니다.
바쁘신 중에도 불구하고, 당사 부스를 방문해 주신분께 이 자리를 빌어 깊이 감사의 말씀을 드립니다.
- 회 기
- 2017년 03월 14일～16일
- 회 장
- Shanghai New International Expo Centre (SNIEC), Shanghai
- 폐 사
- 1605
출전제품안내
웨이퍼 컨테이너 자동 이송 시스템
웨이퍼 컨테이너, 카셋트 내의 박막 웨이퍼를 고정밀도로 자동반송 합니다.
GCR-AM 척의 회전기능이 부착된 로봇
척에 회전 기능을 추가함으로써, 싱글 암에서 2장의 척을 배치한 워크의 교체 동작을, 카셋트 또는 스테이지 근처에서 실시할 수 있습니다.
테이프 프레임 반송 로봇
전체 카세트 슬롯에 수납된 테이프 프레임에 랜덤 액세스 가능.
신형 얼라이너 "SAL3000HV 시리즈"
고객이 직접 얼라이먼트 조정을 할 수 있기 때문에 업체에 문의 및 실제 제품을 보내는 수고와 시간을 크게 줄일 수 있습니다.