반도체용 로봇
JCR4400 (PLP 대응 자동 얼라이맨트 로봇)
데모
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환경/사양
피반송물
| 모델 명 |
JCR4400 |
| 사용유체 |
크린룸 대기 |
| 암 |
싱글 암 |
| 도달거리 |
1290 mm (제품 중심 도달거리) |
| 승강 거리 |
400 mm |
| 가반 질량 |
10 kg (제 3관절 환산) |
제품형식 리스트
| 제품형식 |
승강 거리 |
| JCR4400-400-AM |
400 mm |
- 데모은 JCR4400 (PLP 대응 자동 얼라이맨트 로봇)
|
제품특징
PLP 대응 자동 얼라이맨트 4축 타관절 클린 로봇입니다.
- 병행 배치 레이아웃에 액세스 가능
- 비접촉 얼라이맨트로 고정밀도 반송이 가능
- 가반 중량 10kg에 대응
표준사양
은 JCR4400-400-AM (기판 얼라인먼트 기능이 있는) 의 대표적인 사양입니다
| 로봇형식 |
JCR4400-400-AM |
| 피반송물 |
기판 500 mm x 500 mm |
| 웨이퍼 유지 |
진공흡착 |
| 기계구조 형식 |
수평다관절형 |
제어축 |
4축 |
| 모터 타입 |
AC서보모터 |
| 동작 범위 |
제품 중심 도달거리 |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 1290 mm |
330 deg |
400 mm |
| 반송 속도 |
제(R축) |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 1170 mm/1.6 sec |
330 deg/1.5 sec |
400 mm/1.4 sec |
| 분해능 |
제1관절축 (J1축) |
제2관절축 (J2축) |
제3관절축 (J3축) |
| 3.5x10-3 deg |
1.8x10-3 deg |
1.8x10-3 deg |
| Z축 (J4축) |
|
| 2.4x10-3 deg |
|
| 반복 정밀도 |
±0.2 mm 이내 |
| 클린도 |
로봇 0.3 µm/cf Class 10 (구동부 배기시) |
| 유틸리티 |
유틸리티：전원 AC200V±10% 4 kVA
진공：-53 kPa이상 |
| 질량 |
로봇 약120 kg |
| 콘트롤러 형식 |
C5000S시리즈 |
| 인터페이스 |
RS232C 및 병렬 포트 I/O |
제품 일람
