JEL-Leading Manufacturer of Clean Robot

SEMICON JAPAN 2021 HYBRID JEL특설 페이지

special page Key visuals

JEL은 [TOKYO BIG SIGHT]에서 개최중인 SEMICON JAPAN 2021 HYBRID 에 출전하고 있습니다.
이번 전시회에 있어서는 COVID-19 감염 예방 때문에 입장 인원수 제한이 있어, 많은 고객님께 JEL 출전기를 보여드릴 수가 없는의 상황에 있습니다.
그래서 방문 못하는 고객님께도 JEL이 개발한 신제품을 보여드리기 위해 이 특설 페이지를 만들었습니다.
JEL의SEMICON JAPAN 2021 HYBRID 출전기 라인업을 게재하고 있으니, 꼭 한번 봐 주세요.
특설 페이지 설치 기간은 2021년12월15일~2022년1월31일입니다.
출전기 또한 당사 제품에 대한 상세 내용은 문의해 주세요.

SEMICON JAPAN 출전기 소개


신제품

φ300 mm 대응 GTFR

EFEM의 웨이퍼 반송에 적용됩니다.
당사 종래 제품인 GTCR하고 비교하면 동작 금지 구역,속도 제한의 영향을 줄이며 사이클 타임 향상
(당사 종래비 60% UP)

GTFR 상세 페이지
φ300 mm 대응 신형 저두 SAL-HV

실리콘 웨이퍼.
실리콘 웨이퍼 BG페이프 (유백색)부착,투명,반투명 웨이퍼등 웨이퍼 재질에 영향을 받지 않고 오리엔탈플랫・노치를 고속,고정밀도로 위치 결정.
(당사 종래비 50% UP)

GTCR 상세 페이지



φ300 mm 25장 배치 반송 로봇 KHR

25장 웨이퍼를 일괄 이재 가능.
일괄 반송으로 이재 시간을 많은 단축이 가능.

KHR 상세 페이지



φ150、200 mm 화합물 대응 STCR

EFEM,반도체제조장비내,검사장비에서 웨이퍼 고속 반송이 가능합니다.

STCR 상세 페이지
φ150、200 mm 화합물 대응 SAL

에지그립 방식으로 웨이퍼 뒷면 접촉 없음.2사이즈 겸용 가능.




φ300 mm용 테이프프레임 반송 MTCR

전축 AC서보모터를 사용하고,웨이퍼 이외에도 티레이,소형 유리 기판등 반송 가능합니다.

MTCR 상세 페이지



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