JEL-Leading Manufacturer of Clean Robot



반도체용 로봇

GCR4210 (척의 회전기능이 부착된 로봇)

GCR4210 (Robot with end-effectors with rotation function)

데모

환경/사양

피반송물

모델 명GCR4210
사용유체 크린룸 대기
싱글 암(트윈 척)
도달거리400 mm (제 3관절 중심거리)
승강 거리300 mm
가반 질량4 kg (제 3관절 환산)

제품형식 리스트

제품형식승강 거리
GCR4210-300-AM300 mm
  • 데모은 GCR4210-300-AM(척의 회전기능이 부착된 로봇)

제품특징

슈퍼클린룸용 다축 타이프, 4축 수평다관절형 클린로봇.
앱솔루트 엔코더 사양의 서보모터를 사용하고 있으며, 원점복귀가 필요하지 않습니다.
척에 회전 기능을 추가함으로써, 싱글 암에서 2장의 척을 배치한 워크의 교체 동작을, 카셋트 또는 스테이지 근처에서 실시할 수 있습니다.
이를 통해, 로봇 중심까지 암이 돌아올 필요가 없기 때문에, 택트 타임의 단축이 가능합니다.

  • 제어 방식 : RS232C 및 병렬 포트 I/O
  • 전축 AC 서보 모터 사용
  • S자 가감속 제어로 웨이퍼를 고속, 고정밀도로 반송
  • AC 서보 모터 사양 및 동작 궤적 최적화로 인한 고속 반송.
  • 2상 펄스 모터 사양도 선택 가능

표준사양

은 GCR4210-300-AM (척의 회전기능이 부착된 로봇) 의 대표적인 사양입니다
로봇 사양
로봇형식 GCR4210-300-AM
피반송물 ~300 mm 실리콘 웨이퍼
웨이퍼 유지 진공흡착
기계구조 형식 수평다관절형 제어축 4축
모터 타입 AC서보모터
동작 범위 제품 중심 도달거리 선회(θ축) 상하(Z축)
640 mm 335 deg 300 mm
리스트블럭 회전 각도
±180 deg
반송 속도 제(R축) 선회(θ축) 상하(Z축)
430 mm/0.8 sec 335 deg/1.0 sec 300 mm/0.9 sec
분해능 제1관절축 제2관절축 제3관절축
0.0015 deg 0.0018 deg 0.0018 deg
Z축  
1.96 µm  
반복 정밀도 ±0.1 mm 이내
클린도 ISO Class 2 (구동부 배기시)
유틸리티 유틸리티:전원 AC200V±10% 2 kVA
진공:-53 kPa이상
질량 로봇 약37 kg
콘트롤러 사양
콘트롤러 형식 C5000S시리즈
인터페이스 RS232C 및 병렬 포트 I/O
외관(표준사양)
Drawing of GCR4210-300-AM (with end-effectors with rotation function)

제품 일람


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