JEL-Leading Manufacturer of Clean Robot



반도체용 로봇

GCR4210(스테퍼 모터)4축 수평다관절형클린로봇

GCR4210(스테퍼 모터)

데모

환경/사양

피반송물

모델 명GCR4210
사용유체 크린룸 대기
싱글 암
도달거리400mm (제 3관절 중심거리)
승강 거리300mm
가반 질량3.0kg (제 3관절 환산)

제품형식 리스트

제품형식승강 거리
GCR4210-300-PM300mm
  • 데모은GCR4210-300-PM

표준사양

슈퍼클린룸용 다축 타이프, 4축 수평다관절형 클린로봇 GCR4000-PM 시리즈
300mm 대응 반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 웨이퍼 반송에 적합합니다.

  • 암 동작 범위:210mm
  • 로봇만으로 2FOUP 대응 가능
  • 클린 대책 : 진공 라인에 0.1µm 메시필터를 설치
  • 장치 레이아웃에 맞추어 베이스 타이프과 플랜지 타이프에서 선택 가능
  • 동작 모니터 장비
  • 제어 방식 : RS232C 및 병렬 포트 I/O
  • 전축 앱설루트 인코더 내장 2상 펄스 모터 사용
  • S자 가감속 제어로 웨이퍼를 고속, 고정밀도로 반송
    오프셋 동작에서는 기존 GHR4000 타이프와 비교해 1.4배
  • 웨이퍼 유지: 진공 흡착, 패시브 에지, 에지 그립 척
  • 척 재질은 CFRP, 알루미늄, 세라믹 등 각종 재질 사용 가능
  • 피반송물, 장치 레이아웃에 가장 알맞은 척으로 대응 가능

표준사양

본 사양은 당사 표준 척(흡착 타입) 장착시의 사양의 일례입니다
로봇 사양
로봇형식 GCR4210-300-PM
피반송물 ~300mm 웨이퍼
웨이퍼 유지 진공흡착
기계구조 형식 수평다관절형 제어축 4축
모터 타입 스테퍼 모터
동작 범위 제품 중심 도달거리 선회(θ축) 상하(Z축)
760mm 335deg 300mm
반송 속도 제(R축) 선회(θ축) 상하(Z축)
730mm/1.0sec 240deg/1.0sec 200mm/1.0sec
반복 정밀도 ±0.1mm 이내
클린도 ISO Class 2 (구동부 배기시)
유틸리티 유틸리티:DC24V±10% 15A  진공:-53kPa이상 (흡착 척)
질량 로봇 약26kg
콘트롤러 사양
콘트롤러 형식 C4451
인터페이스 RS232C 및 병렬 포트 I/O
외관(표준사양)
GCR4210-300-PM


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