JEL-Leading Manufacturer of Clean Robot



반도체용 로봇

MTCR4160L(5매 일괄 가변 척 탑재 로봇) 

MTCR4160L (with batch end-effector for 5 pieces of wafer)

데모

환경/사양

피반송물

제품명MTCR4160L
사용유체크린룸 대기
트윈 암
동작범위710mm (제품 중심 도달거리)
승강 거리700mm

제품형식 리스트

제품형식승강 거리
MTCR4160L-700-AM700mm
  • 화상, 동영상은 MTCR4160L-700-AM (5매 일괄 가변 척 탑재 로봇)됩니다.

제품특징

세로형 로(爐)등의 피치가 다른 카셋트에 대한 고속 반송을 실현했습니다.

  • 패스라인이 낮은 장치, 승강축이 긴 장치에 최적
  • 코람다입 구동부에 의해 로봇 선회각도가 ±160도가 되어 자유도가 상승
  • 척의 피치를 5mm~10mm의 범위에서 자유롭게 설정 가능

표준사양

(*1) 웨이퍼 홀딩방식을 패시브홀딩 타입에 의한 러프가이드로 했을 때의 반송속도가 됩니다.
       그 밖의 흡착에 의한 홀딩방식도 있기 때문에 사양에 대해서는 문의를 해 주십시오.
로봇 사양
제품형식 MTCR4160L-700-AM
피반송물 300mm 실리콘 웨이퍼
웨이퍼 유지 패시브 홀딩타입에 의한 러프가이드 방식
기계구조 형식 원통 좌표형 제어축 4축
모터 타입 AC 서보 모터
동작 범위(*1) 암 (R축) 선회 (θ축) 상하 (Z축)
710mm ±160deg 700mm
반송 속도(평균)(*1) 암 (R축) 선회 (θ축) 상하 (Z축)
415mm/sec 135deg/sec 350mm/sec
반송 속도(최고)(*1) 암 (R축) 선회 (θ축) 상하 (Z축)
830mm/sec 190deg/sec 500mm/sec
분해능 암 (R축) 선회 (θ축) 상하 (Z축)
6.55µm이하 0.00082deg 4.89µm
반송 레벨 676mm (최하단)
반복 정밀도 ±0.1mm 이내
클린도 ISO Class 2 (ISO14644)(구동부 배기시)
유틸리티 전원:AC200V 1상 ±10%
질량 로봇본체:약 180 kg
콘트롤러 사양
콘트롤러 형식 C5000S 시리즈
인터페이스 RS232C 및 병렬 포트 I/O
외관도(표준형식)
MTCR4160L-700-AM (5매 일괄 가변 척 탑재 로봇)


제품 일람


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