JEL-Leading Manufacturer of Clean Robot



반도체용 로봇

MTCR4160 (테이프 프레임 반송) 4축원통 좌표형 크린 로봇

MTCR4160-300-AM(Tape frame handling)

데모

환경/사양

피반송물

제품명MTCR4160
사용유체크린룸 대기
트윈 암
동작범위315mm(암 제3관절 중심)
승강 거리300 mm
가반 질량5 kg (제 3관절 환산)

제품형식 리스트

제품형식승강 거리
MTCR4160-300-AM300 mm
  • 화상, 동영상은 MTCR4160-300-AM(테이프 프레임 반송)

제품특징

테이프 프레임을 정밀하게 반송합니다.
테이프 프레임을 끝부분에서 그립 함으로써 카세트에서도 접촉하지 않고, 통상 피치의 테이프 프레임 카세트에 랜덤 액세스 반송이 가능합니다.
300 mm까지의 다양한 크기의 테이프 프레임에 대응 가능합니다.
Visualization of operation by MECHATROLINK-III.

  • 암 동작 범위: 160 mm, 200 mm, 240 mm, 280 mm
  • 트윈 암 채용으로 기판 교체 시간 단축
  • 장치 레이아웃에 맞추어 베이스 타이프과 플랜지 타이프에서 선택 가능
  • 동작 모니터 장비
  • 제어 방식 : RS232C 및 병렬 포트 I/O
  • 전축 AC 서보 모터 사용
  • S자 가감속 제어로 웨이퍼를 고속, 고정밀도로 반송
  • 반송 중인 프레임을 항상 감시 가능
  • 충돌 시 센서에 의한 동력 차단으로 충격을 완화

표준사양

본 사양은 MTCR4160-300-AM(200~300 mm용 테이프 프레임 반송)의 사양입니다.
로봇 사양
제품형식 MTCR4160-300-AM
피반송물 200 mm ~ 300 mm 웨이퍼 (200~300 mm용 테이프 프레임 반송)
(그 외의 사이즈에도 대응 가능)
웨이퍼 유지 에어실린더 구동으로 프레임 외주를 집는다
기계구조 형식 원통 좌표형 제어축 4축
모터 타입 AC 서보 모터
동작 범위 (*) 제품 중심 도달거리 선회 (θ축) 상하 (Z축)
585 mm 340 deg 300 mm
반송 속도 (*) 암 (R축) 선회 (θ축) 상하 (Z축)
360 mm/sec 140 deg/sec 180 mm/sec
분해능 (*) 암 (R축) 선회 (θ축) 상하 (Z축)
10.0 µm 이하 0.0015 deg 1.96 µm
반복 정밀도 ±0.1 mm 이내
클린도 ISO Class 2 (구동부 배기시)
厂务 전원: AC200V±10% 3 kVA
(척) 정압 에어: 0.5 MPa 10 NL/min 이상
질량 로봇본체:약 50 kg
콘트롤러 사양
콘트롤러 형식 C5000S 시리즈
인터페이스 RS232C 및 병렬 포트 I/O
외관도(표준형식)
MTCR4160-300-AM (Tape frame handling)


제품 일람


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