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얼라이너

SAL30J1(450mm웨이퍼 대응)웨이퍼 얼라이너

SAL30J1

데모

환경/사양


피반송물

제품형식SAL30J1
사용유체 크린룸 대기
피반송 사이즈450mm
피반송물실리콘 웨이퍼

제품특징

  • 450㎜실리콘 웨이퍼의 센터링과 노치를 고속, 고정밀도에 위치 결정
  • 가시광선 반도체 레이저 센서를 사용.모터 드라이버, 콘트롤러를 본체에 내장
  • 스핀들내에 0.01μm의 필터 장비
  • 제어 방식은 RS232C 및 패러렐 포트 I/O
  • 450㎜와 300㎜의 겸용 타입도 제작 가능
  • Pick-up/Place 동작이 가능한 Z축 부착도 제작 가능

표준사양

피반송물 450mm 실리콘 웨이퍼
위치 결정시간 센터링~노치 위치 찾는 시간: 약 3 sec
위치 결정 정도 센터링:±0.1mm이내
노치 위치:±0.1 deg 이내
센서 가시 반도체 레이저 센서
클린도 ISO Class2 (구동부 배기시)
구동 방식 2상 스테핑 모터 3축 사용모터 드라이버, 컨트롤러 내장
유틸리티 전원:DC24V±10%  3A   진공:-53kPa이상 (흡착 척)
외관
SAL30J1

제품 일람


가이드
  • ...대기
  • ...진공
  • ...얇은 웨이퍼
  • ...CE 마킹
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  • ...KCs 마킹