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얼라이너

SAL3261GR(Optical 얼라이너)웨이퍼 얼라이너

SAL3241GR

데모

환경/사양


피반송물

제품형식SAL3261GR
사용유체 크린룸 대기
피반송 사이즈2, 3인치, 100mm~150mm
피반송물실리콘 웨이퍼, 특주재질 웨이퍼

제품특징

반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등에서 웨이퍼 위치 결정이 필요한 반송에 대응.

  • 소경 웨이퍼 (투명, 반투명, 실리콘) 웨이퍼의 센터링과 노치를 고속, 고정밀도에 위치 결정
  • 제어 방식 : RS232C 및 병렬 포트 I/O
  • 기존 SAL46C6, SAL4484와 비교해 약 50%의 풋프린트 소형화를 실현
  • 기타의 워크 사이즈 대응 합니다

표준사양

피반송물 2, 3인치, 100mm~150mm 실리콘 웨이퍼, 투명 웨이퍼
Primary orientation flat, 놋치 사양
위치 결정시간 노치 탐색:3초이내(재부팅 동작이 없을경우)
위치 결정 정도 센터링:±0.2mm 이내
플랫위치:±0.2deg 이내
센서 가시광선 반도체 레이저 센서를 사용.
클린도 ISO Class2 (구동부 배기시)
구동 방식 2상 스테핑 모터 3축 사용모터 드라이버 내장
유틸리티 전원:DC24V±10% 3A   진공:-53kPa이상 (흡착 척)
외관
SAL3261GR

제품 일람


가이드
  • ...대기
  • ...진공
  • ...얇은 웨이퍼
  • ...CE 마킹
  • ...JEL표준
  • ...KCs 마킹