JEL-Leading Manufacturer of Clean Robot



얼라이너

SAL46C6(Optical 얼라이너)웨이퍼 얼라이너

SAL46C6

환경/사양


피반송물

제품형식SAL46C6
사용유체 크린룸 대기
피반송 사이즈150mm~300mm
피반송물실리콘 웨이퍼
  • 사진과SAL46C6

제품특징

반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등에서 웨이퍼 위치 결정이 필요한 반송에 대응

  • 실리콘 웨이퍼의 센터링과 노치 위치 결정을 고속, 고정밀도로 실행 가능
  • 제어 방식 : RS232C 및 병렬 포트 I/O

표준사양

피반송물 SEMI規格  150~300mm 실리콘 웨이퍼
위치 결정시간 센터링:3sec
위치 결정 정도 센터링:±0.1mm이내
플랫위치:±0.1deg 이내
센서 가시 반도체 레이저 센서
사이즈 교체 커맨드 제어에 의한 교체 또는 통신
클린도 0.1µm/cf Class 1 (구동부 배기시)
구동 방식 2상 스테핑 모터 4축 사용
모터 드라이버, 컨트롤러 내장
유틸리티 전원:DC24V±10% 4A  진공:-53kPa 이상
외관
SAL46C6


제품 일람


가이드
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