기타

• 휘어진 상태가 있는 웨이퍼, 얇은 웨이퍼에 대응시, 코스트 퍼포먼스가 뛰어난 베르누이 척 입니다.
• 폐사의 대기 환경용 반송 로봇이 있다면, 어떤 타입의 로봇에게도 탑재 가능합니다.
• 샘플 웨이퍼에 의한 검증을 실시해, 고객의 임의의 형상으로 각종 사이즈, 휨량, 웨이퍼 두께에 대응한 설계를 실시합니다.
• 반송시의 틀어짐을 방지하기 위해 엣지부의 가이드로 틀어짐을 제한합니다.
• 엣지 이외는 접촉을 하지 않고 부상하고 있습니다.
• 하나의 척으로 하나의 사이즈의 웨이퍼가 됩니다.
• 끌어당기는 힘이 베르누이이기 때문에, 진공 흡착 척보다 넓은 공간에 힘이 걸려, 얇은 웨이퍼에 유효합니다.
• 또, 양면에 대해서 비접촉이 되므로, 접촉을 할 수 없는 웨이퍼에 대해서도 유효합니다.

그 외의 상세 사양에 대해서는 문의해 주세요.