반도체용 로봇
SVCR32603축원통 좌표형 크린 로봇
데모
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환경/사양
피반송물
| 모델 명 | SVCR3260 |
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| 사용유체 | 진공：온도 15℃～50℃ |
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구동부：크린룸 대기
온도 15℃～40℃ |
| 암 | 싱글 암 |
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| 도달거리 | 520mm (제 3관절 중심거리) |
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| 승강 거리 | 20mm / 40mm |
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| 가반 질량 | 2kg (제 3관절 환산) |
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제품형식 리스트
| 제품형식 | 승강 거리 |
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| SVCR3260-020-PM | 20mm |
| SVCR3260-040-PM | 40mm |
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제품특징
진공 대응 3축 원통 좌표형 로봇 SVCR3000 시리즈 진공 체임버 내에서의 웨이퍼 반송에 사용할 수 있습니다.
SVHR과 비교해 가반 질량이 2배가 되므로 비용을 대폭 절감할 수 있습니다.
더욱이 SVHR과 호환 설치가 가능하므로 원활하게 교체가 가능합니다.
- 암 동작 범위: 160mm, 190mm, 260mm, 330mm
- 암 관절부에는 자성 유체 실 설치
- 진공 실 : 자성 유체 실 및 벨로스 사용
- 클린 대책 : 암 내 배기용에 5µm 메시필터 설치
- 동작 모니터 장비
- 제어 방식 : RS232C 및 병렬 포트 I/O
- 전축 2상 펄스 모터 사용
- S자 가감속 제어로 웨이퍼를 고속, 고정밀도로 반송
- 2상 펄스 모터 사양도 선택 가능
- 척 재질은 CFRP, 알루미늄, 세라믹 등 각종 재질 사용 가능
- 웨이퍼 유지:암 관절부에는 자성 유체 실 사용
- 피반송물, 장치 레이아웃에 가장 알맞은 척으로 대응 가능
표준사양
은 SVCR3260-040-PM (스테핑 모터 사양)의 대표적인 사양입니다.피반송물, 척 형상에 따라 다릅니다.
| 로봇형식 |
SVCR3260-040-PM |
| 피반송물 |
～300mm 웨이퍼 |
| 웨이퍼 유지 |
암 관절부에는 자성 유체 실 사용 |
| 기계구조 형식 |
원통 좌표형 |
제어축 |
3축 |
| 모터 타입 |
전 축 2상 펄스모터 |
| 동작 범위 |
암 3관절 중심거리 |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 520mm |
330deg |
40mm |
| 반송 속도(평균) |
제(R축) |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 300mm/sec |
120deg/sec |
20mm/sec |
| 반송 속도(최고) |
제(R축) |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 550mm/sec |
170deg/sec |
30mm/sec |
| 분해능 |
제(R축) |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 82µm이하 |
0.009deg |
1.25µm |
| 반송 레벨 |
98mm(베이스 설치면에서 위쪽 척 반송 라인) |
| 반복 정밀도 |
±0.1mm 이내 |
| 클린도 |
자성 유체 실에 의한 대책 |
| 내진공도 |
1.33×10-6Pa |
| 유틸리티 |
전원：DC24V±10% 8A |
| 콘트롤러 형식 |
C4000 |
| 인터페이스 |
RS232C 및 병렬 포트 I/O |
제품 일람
