유리 기판용 로봇
FTVHR4750 (유리 기판용)4축 원통 좌표형 링크식 고진공 대응 클린로봇
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환경/사양피반송물
제품형식 리스트
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제품특징
마스크/유리 기판 대응 4축 원통 좌표형 링크식 고진공 대응 클린로봇 FTVHR4000 시리즈
액정 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 마스크/유리 기판 반송에 적합합니다.
- 암 동작 범위:550mm, 750mm, 800mm, 820mm
- 가반 질량: 제3관절에서 30kg 이하(550mm, 750mm, 820mm)
제3관절에서 40kg 이하(800mm) - 링크식 채용에 의한 우수한 직진성, 저파티클을 실현
- 트윈 암 채용으로 기판 교체 시간 단축
- 동작 모니터 장비
- 제어 방식 : RS232C 및 병렬 포트 I/O
- 전축 AC 서보 모터 사용
- S자 가감속 제어로 웨이퍼를 고속, 고정밀도로 반송
- 척 재질은 CFRP, 알루미늄, 세라믹 등 각종 재질 사용 가능
- 피반송물, 장치 레이아웃에 가장 알맞은 척으로 대응 가능
표준사양
| 로봇 사양 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 로봇형식 | FTVHR4750-095-AM | |||
| 피반송물 | 1100mm×1250mm 유리 기판(대표적인 예) | |||
| 기계구조 형식 | 원통 좌표형 | 제어축 | 4축 | |
| 모터 타입 | AC서보모터 | |||
| 동작 범위 | 암 3관절 중심거리 | 선회(θ축) | 상하(Z축) | |
| 942mm | 330deg | 95mm | ||
| 반송 속도 | 제(R축) | 선회(θ축) | 상하(Z축) | |
| 1924mm/2.6sec | 180deg/3.5sec | 95mm/2.8sec | ||
| 분해능 | 제(R축) | 선회(θ축) | 상하(Z축) | |
| 4.8µm이하 | 0.00018deg | 0.12µm이하 | ||
| 반송 레벨 | 583.5mm(플랜지 설치면에서 위쪽 척 반송면까지) | |||
| 반복 정밀도 | 제(R축), 선회(θ축):±0.3mm以内 Z축:±0.1mm이내 | |||
| 내진공도 | 1.33×10-6Pa | |||
| 유틸리티 | 전원：3상 AC200V±10% 4kVA | |||
| 외관（표준사양） |
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가이드
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