JEL-Leading Manufacturer of Clean Robot



베르누이 핀셋

Bernoulli Hand

데모

환경/사양

피반송물

제품명베르누이 핀셋
피반송물2, 3인치, 100~150mm (*)
*200mm,300mm용 별도 대응가능
사양에 대해서는 문의하여 주십시오.

제품특징

얇은 웨이퍼등을 베르누이 보관 유지할 수 있는 경량, 컴팩트한 핀셋입니다.
흡착 보관 유지는 아니기 때문에, 웨이퍼 파손 리스크를 최소한으로 할 수 있습니다.
선단부가 플렉시블하게 움직이는 것으로 수평은 물론, 웨이퍼 케이스나 웨이퍼 카셋트로부터의 취출・수납이 가능합니다.
또, 웨이퍼 뿐만 아니라, 여러가지 특수 제품에 대응이 가능합니다.

  • 사이클론 효과에 의해 제품을 흡착하지 않고 보관 유지 가능
  • 제품과의 접촉은 패드(재질: 불소 고무)에 의해 실시해, 보관 유지시의 제품 충격 완화, 또 보관 유지 가이드 불필요
  • 플렉시블 튜브의 채용에 의해, 작업자의 임의의 각도에 조정 가능

표준사양

피반송물 2,3인치, 100~150mm 웨이퍼
재질 알루미늄(선단부)
표면 처리 사이클론 패드: 흑색 아르마이트 그 외; 선단부: 흰색 아르마이트
Wafer유지 사이클론 패드에 의한 흡입과 불소 고무에 의한 보관 유지
허용반송 질량 50g 이하
사용유체 클린에어, N2
공급압력 0.3MPa 이하(본체 접속부에서)
에어 유량 15L/min
질량 110g
  • 릴리스 스윗치의 접동부에의 유지 미사용
  • 사이클론 패드 표준 배치 수량: 1개
  • 패드(재질: 불소 고무)에 의한 접촉 보관 유지
  • 설치 브라켓 120도 타입(표준 출하 형상), 90도 타입(부속)

기타 자세한 사양은 문의 부탁 합니다.

압력-유지력관계도
플렉시블 튜브 동작 범위

형식

수평설치, 웨이퍼 케이스 에 적절한 선단 유닛이 짧은 타입의 BRP-01과, 수평장착 카셋트 에 적절한 선단 유닛이 긴 타입의 BRP-02의 2 종류가 있습니다.

BRP-01(선단 유닛 단)

BRP-02(선단 유닛 장)

제품 일람


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