JEL-Leading Manufacturer of Clean Robot



반도체용 로봇

GTCR5280(300mm웨이퍼 대응)5축 수평다관절형클린로봇

GTCR5280-300-AM

데모

환경/사양

피반송물

모델 명GTCR5280
사용유체 크린룸 대기
싱글 암
도달거리553mm (제 3관절 중심거리)
승강 거리300mm
가반 질량4.0kg (제 3관절 환산)

제품형식 리스트

제품형식승강 거리
JEL 표준GTCR5280-300-AM300mm
  • 데모은GTCR5280-300-AM

표준사양

300mm 대응 5축 수평다관절형 클린로봇 GTCR5000 시리즈
싱글 암이지만 트윈 척을 탑재하였기 때문에 트윈 암의 기능을 보유
300mm 대응 반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 웨이퍼 반송에 적합합니다.

  • 암 동작 범위:210mm, 280mm
  • 로봇만으로 2FOUP (210mm), 3FOUP(280mm) 각각 대응 가능
  • 클린 대책 : 진공 라인에 0.1µm 메시필터를 설치
  • 트윈 척 채용으로 웨이퍼 교환 시간 단축
  • 싱글 척 사양도 선택 가능
  • 장치 레이아웃에 맞추어 베이스 타이프과 플랜지 타이프에서 선택 가능
  • 동작 모니터 장비
  • 제어 방식 : RS232C 및 병렬 포트 I/O
  • 전축 AC 서보 모터 사용
  • S자 가감속 제어로 웨이퍼를 고속, 고정밀도로 반송
  • 웨이퍼 유지: 진공 흡착, 패시브 에지, 에지 그립 척
  • 척 재질은 CFRP, 알루미늄, 세라믹 등 각종 재질 사용 가능
  • 피반송물, 장치 레이아웃에 가장 알맞은 척으로 대응 가능

표준사양

본 사양은 당사 표준 척(흡착 타입) 장착시의 사양의 일례입니다
로봇 사양
로봇형식 GTCR5280-300-AM
피반송물 ~300mm 웨이퍼
웨이퍼 유지 진공흡착
기계구조 형식 수평다관절형 제어축 5축
모터 타입 전 축 AC서보모터
동작 범위 제품 중심 도달거리 선회(θ축) 상하(Z축)
953mm 335deg 300mm
반송 속도 제(R축) 선회(θ축) 상하(Z축)
833mm/sec 250deg/sec 300mm/sec
반복 정밀도 ±0.2mm이내
클린도 ISO Class 2 (구동부 배기시)
유틸리티 유틸리티:전원 AC200V±10% 2kVA   진공:-53kPa이상 (흡착 척)
질량 로봇 약50kg
콘트롤러 사양
콘트롤러 형식 C5000S
인터페이스 RS232C 및 병렬 포트 I/O
외관(표준사양)
GTCR5280-300-AM


제품 일람


가이드
  • ...대기
  • ...진공
  • ...방수
  • ...싱글 암
  • ...트윈 암
  • ...얇은 웨이퍼
  • ...CE 마킹
  • ...JEL표준
  • ...KCs 마킹