JEL-Leading Manufacturer of Clean Robot



반도체용 로봇

GTVCR53305축 수평다관절형 진공 대응 클린로봇

GTVCR5330-060-AM

데모

환경/사양

피반송물

제품명GTVCR5330
사용유체크린룸 대기:온도 15°C-40°C
프로세스 챔버 (Max. Temp. 450°C)
싱글 암
동작범위635mm (암 제3관절 중심)
승강 거리60mm
가반 질량4kg (제 3관절 환산)

제품형식 리스트

제품형식승강 거리
GTVCR5330-060-AM60mm
  • 사진과 데모은 GTVCR5330-060-AM(※사진과 동영상의 로봇은 4매용 척을 사용하고 있습니다.)

제품특징

5축 진공 수평다관절형 클린로봇 GTVCR5000 시리즈
진공 환경하의 병렬 배치된 챔버 스테이지에 반송이 가능
다채로운 장치의 레이아웃에 대응
풋프린트 소형화, 진공 챔버 용적의 소형화에 기여
체임버 가공의 심플 형상화에 의한 가공 비용 삭감이 가능
레이아웃의 인라인화에 최적

  • 암 동작 범위: 280mm, 330mm
  • 암 관절부에는 자성 유체 실 사용
  • 진공 실: 자성 유체 실 및 벨로스 사용
  • 클린 대책: 진공 라인에 5µm 메시필터를
  • 설치트윈 척 채용으로 웨이퍼 교환 시간 단축
  • 동작 모니터 장비
  • 제어 방식: RS232C 및 병렬 포트 I/O
  • 전 축 Absolute Encorder내장 AC서보 모터 사용
  • S자 가감속 제어로 웨이퍼를 고속, 고정밀도로 반송
  • 웨이퍼 유지: 패시브 에지, 에지 그립 척, 오링에 의한 마찰 유지
  • 척 재질은 CFRP, 알루미늄, 세라믹 등 각종 재질 사용 가능
  • 피반송물, 장치 레이아웃에 가장 알맞은 척으로 대응 가능

표준사양

은 GTVCR5330-060-AM의 대표적인 사양입니다. 피반송물, 척 형상에 따라 다릅니다.
로봇 사양
제품형식 GTVCR5330-060-AM
피반송물 ~300mm 웨이퍼
기계구조 형식 수평다관절형 제어축 5축
모터 타입 전축 AC 서보 모터 사용
동작 범위 제 제3관절 중심거리 선회 (θ축) 상하 (Z축)
635mm 360deg 60mm
반송 속도(평균) 암 (R축) 선회 (θ축) 상하 (Z축)
640mm/sec 160deg/sec 60mm/sec
반송 속도(최고) 암 (R축) 선회 (θ축) 상하 (Z축)
950mm/sec 200deg/sec 85mm/sec
분해능 제1관절축(J1축)
제2관절축(J2축)
제3관절축(J3축)
제3관절축(J5축)
Z축(J4축)
0.00081deg
0.00081deg
0.00072deg
0.00072deg
0.98µm
반송 레벨 219mm(플랜지 설치면에서 척 설치면까지)
반복 정밀도 ±0.1mm 이내
클린도 자성 유체 실 및 필터에 의한 대책
내진공도 1×10-6Pa
유틸리티 전원:단상AC200~230V 2kVA 50/60Hz
콘트롤러 사양
콘트롤러 형식 C5000S 시리즈
인터페이스 RS232C 및 병렬 포트 I/O
외관(표준사양)
GTVCR5330-060-AM


제품 일람


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