JEL-Leading Manufacturer of Clean Robot



반도체용 로봇

JCR4400 (기판 얼라인먼트 기능이 있는 로봇)

JCR4400 (Robot with alignment function

데모

환경/사양

피반송물

모델 명JCR4400
사용유체 크린룸 대기
싱글 암
도달거리1290 mm (제품 중심 도달거리)
승강 거리320 mm
가반 질량15 kg (제 3관절 환산)

제품형식 리스트

제품형식승강 거리
JCR4400-320-AM320 mm
  • 데모은 JCR4400 (기판 얼라인먼트 기능이 있는 로봇)

제품특징

질량이 있는 마스크나 몰드기판(FOPLP)을 고정밀도로 반송할 수 있는 4축수평 다관절형 크린로봇 입니다(FOPLP=Fan-Out Panel Level Package 공정 전용).
몰드 각기판을 척에서 얼라인먼트 해서, 정밀하게 반송.
척에서 기판 얼라인먼트(Y방향), 기판 단면 검출(X방향)을 동시에 실시해, 워크의 센터링 완료 후에 유지합니다.
이것에 의해 별도 센터링 기구 설치의 필요가 없고, 택트타임의 단축이 가능합니다.
또한, 수평 다관절형 이므로, 주행축이 없이 오프셋 반송이 가능해집니다.
평행하게 배치한 카셋트에 액세스 가능.

  • 제어 방식 : RS232C 및 병렬 포트 I/O
  • 전축 AC 서보 모터 사용

표준사양

은 JCR4400-320-AM (기판 얼라인먼트 기능이 있는) 의 대표적인 사양입니다
로봇 사양
로봇형식 JCR4400-320-AM
피반송물 기판 500 mm x 517mm(5 kg)
웨이퍼 유지 진공흡착
기계구조 형식 수평다관절형 제어축 4축
모터 타입 AC서보모터
동작 범위 제품 중심 도달거리 선회(θ축) 상하(Z축)
1290 mm 335 deg 320 mm
반송 속도 제(R축) 선회(θ축) 상하(Z축)
1140 mm/1.6 sec 335 deg/1.5 sec 320 mm/1.1 sec
분해능 제1관절축 (J1축) 제2관절축 (J2축) 제3관절축 (J3축)
3.15x10-7 deg 1.78x10-7 deg 2.14x10-7 deg
Z축 (J4축)  
3.97x10-7 deg  
반복 정밀도 ±0.2 mm 이내
클린도 로봇 0.3 µm/cf Class 10 (구동부 배기시)
유틸리티 유틸리티:전원 AC200V±10% 4.5 kVA
진공:-53 kPa이상
질량 로봇 약80 kg
콘트롤러 사양
콘트롤러 형식 C5000S시리즈
인터페이스 RS232C 및 병렬 포트 I/O
외관(표준사양)
JCR4400-320-AM


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