반도체용 로봇
JVCR4330 (마이크로 LED용 진공 대응 수평 다관절 로봇)
데모 |
환경/사양피반송물
제품형식 리스트
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제품특징
마이크로 LED용 4축 진공 수평 다관절형 클린 로봇.
- 평행 배치 레이아웃에 액세스 가능
- 가반 중량 10 kg에 대응
표준사양
| 로봇 사양 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 로봇형식 | JVCR4330-060-AM | |||
| 피반송물 | 700 mm 사셉터 (10 kg) | |||
| 웨이퍼 유지 | 오링에 의한 마찰 유지 | |||
| 기계구조 형식 | 수평다관절형 | 제어축 | 4축 | |
| 모터 타입 | AC서보모터 | |||
| 동작 범위 | 제품 중심 도달거리 | 선회(θ축) | 상하(Z축) | |
| 1290 mm | 360 deg | 60 mm | ||
| 반송 속도 | 제(R축) | 선회(θ축) | 상하(Z축) | |
| 640 mm/4.0 sec | 360 deg/5.0 sec | 60 mm/2.0 sec | ||
| 분해능 | 제1관절축 (J1축) | 제2관절축 (J2축) | 제3관절축 (J3축) | |
| 8.1x10-4 deg | 8.1x10-4 deg | 7.2x10-4 deg | ||
| Z축 (J4축) | ||||
| 0.98 µm | ||||
| 반복 정밀도 | ±0.1 mm 이내 | |||
| 클린도 | 로봇 0.1 µm/cf Class 1 | |||
| 유틸리티 | 유틸리티：전원 AC200V±10% 4.0 kVA | |||
| 질량 | 로봇 약90 kg | |||
| 콘트롤러 사양 | ||||
| 콘트롤러 형식 | C5000S시리즈 | |||
| 인터페이스 | RS232C 및 병렬 포트 I/O | |||
| 외관（표준사양） |
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