반도체용 로봇
JVCR4330 (마이크로 LED용 진공 대응 수평 다관절 로봇)
데모
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환경/사양
피반송물
| 모델 명 |
JVCR4330 |
| 사용유체 |
크린룸 대기 |
| 암 |
싱글 암 |
| 도달거리 |
1290 mm (제품 중심 도달거리) |
| 승강 거리 |
60 mm |
| 가반 질량 |
10 kg |
제품형식 리스트
| 제품형식 |
승강 거리 |
| JVCR4330-060-AM |
60 mm |
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제품특징
마이크로 LED용 4축 진공 수평 다관절형 클린 로봇.
- 평행 배치 레이아웃에 액세스 가능
- 가반 중량 10 kg에 대응
표준사양
은 JVCR4330-060-AM 의 대표적인 사양입니다
| 로봇형식 |
JVCR4330-060-AM |
| 피반송물 |
700 mm 사셉터 (10 kg) |
| 웨이퍼 유지 |
오링에 의한 마찰 유지 |
| 기계구조 형식 |
수평다관절형 |
제어축 |
4축 |
| 모터 타입 |
AC서보모터 |
| 동작 범위 |
제품 중심 도달거리 |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 1290 mm |
360 deg |
60 mm |
| 반송 속도 |
제(R축) |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 640 mm/4.0 sec |
360 deg/5.0 sec |
60 mm/2.0 sec |
| 분해능 |
제1관절축 (J1축) |
제2관절축 (J2축) |
제3관절축 (J3축) |
| 8.1x10-4 deg |
8.1x10-4 deg |
7.2x10-4 deg |
| Z축 (J4축) |
|
| 0.98 µm |
|
| 반복 정밀도 |
±0.1 mm 이내 |
| 클린도 |
로봇 0.1 µm/cf Class 1 |
| 유틸리티 |
유틸리티：전원 AC200V±10% 4.0 kVA |
| 질량 |
로봇 약90 kg |
| 콘트롤러 형식 |
C5000S시리즈 |
| 인터페이스 |
RS232C 및 병렬 포트 I/O |
제품 일람
