유리 기판용 로봇

유리 기판 대응 4축 원통 좌표형 클린로봇 LTHR4000 시리즈
액정 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 유리 기판 반송에 적합합니다.
Z스트로크 760mm 이상은 Z축이 다단식이기 때문에 낮은 패스 라인이 가능

• 암 동작 범위:400mm, 500mm
• Z축 동작 범위 : 400mm, 500mm, 600mm, 760mm, 900mm(Z축 760mm 이상은 다단식이기 때문에 위 사진과는 외관이 다릅니다)
• 가반 질량: 제3관절에서 15kg 이하(400mm, 500mm)
• 클린 대책 : 진공 라인에 0.1µm 메시필터를 설치
• 트윈 암 채용으로 기판 교체 시간 단축
• 장치 레이아웃에 맞추어 베이스 타이프과 플랜지 타이프에서 선택 가능
• 동작 모니터 장비
• 제어 방식 : RS232C 및 병렬 포트 I/O
• 전축 AC 서보 모터 사용
• S자 가감속 제어로 웨이퍼를 고속, 고정밀도로 반송
• 척 재질은 CFRP, 알루미늄, 세라믹 등 각종 재질 사용 가능
• 핸드부에는 각종 센서 설치 가능
  (얼라인먼트, 유무, 맵핑 등)
• 피반송물, 장치 레이아웃에 가장 알맞은 척으로 대응 가능