유리 기판용 로봇
LVHR3440S (유리 기판용)3축 원통 좌표형 진공 대응 클린로봇
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환경/사양
피반송물
| 모델 명 | LVHR3440S |
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| 사용유체 | 크린룸 대기：온도 15℃～40℃ |
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※진공로봇
진공챔버 온도： 15℃～50℃이하 |
| 암 | 싱글 암 |
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| 도달거리 | 880mm ( 제 3관절 중심거리） |
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| 승강 거리 | 20mm/ 32mm/ 40mm/ 60mm/ 320mm |
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| 가반 질량 | 10kg以下 (제 3관절 환산) |
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제품형식 리스트
| 제품형식 | 승강 거리 |
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| LVHR3440S-020-SM | 20mm |
| LVHR3440S-032-SM | 32mm |
| LVHR3440S-040-SM | 40mm |
| LVHR3440S-060-SM | 60mm |
| LVHR3440S-320-SM | 320mm |
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제품특징
유리 기판 대응 3축 원통 좌표형 진공 대응 클린로봇 LVHR3000 시리즈
액정 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 유리 기판 반송에 적합합니다.
- 암 동작 범위:330mm, 440mm, 500mm, 550mm
- 암 관절부에는 자성 유체 실 설치
- 진공 실 : 자성 유체 실 및 벨로스 사용
- 클린 대책 : 진공 라인에 5µm 메시필터를
- 설치동작 모니터 장비
- 제어 방식 : RS232C 및 병렬 포트 I/O
- 전축 AC 서보 모터 사용
- S자 가감속 제어로 웨이퍼를 고속, 고정밀도로 반송
- 척 재질은 CFRP, 알루미늄, 세라믹 등 각종 재질 사용 가능
- 피반송물, 장치 레이아웃에 가장 알맞은 척으로 대응 가능
표준사양
본 사양은 LVHR3440S-040-SM의 대표적인 사양입니다.
| 로봇형식 |
LVHR3440S-040-SM |
| 피반송물 |
730×920×1.1mm 유리 기판(대표적인 예) |
| 기계구조 형식 |
원통 좌표형 |
제어축 |
3축 |
| 모터 타입 |
AC서보모터 |
| 동작 범위 |
암 3관절 중심거리 |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 880mm |
±182deg |
40mm |
| 반송 속도 |
제(R축) |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 1320mm/2.7sec |
180deg/1.8sec |
40mm/2.0sec |
| 분해능 |
제(R축) |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 13.5µm 이하 |
0.00097deg |
0.61µm 이하 |
| 반송 레벨 |
168.5mm(플랜지 설치면에서 위쪽 척 반송면까지) |
| 반복 정밀도 |
±0.2mm以内 |
| 클린도 |
자성 유체 실에 의한 대책 |
| 내진공도 |
1.33×10-6Pa |
| 유틸리티 |
전원 AC200V±10% 2kVA
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| 콘트롤러 형식 |
C5000S시리즈 |
| 인터페이스 |
RS232C 및 병렬 포트 I/O |
제품 일람
