반도체용 로봇
MCR3160C3축원통 좌표형 크린 로봇
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환경/사양
피반송물
| 모델 명 | MCR3160C |
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| 사용유체 | 크린룸 대기 |
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| 암 | 싱글 암 |
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| 도달거리 | 400mm (제 3관절 중심거리) |
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| 승강 거리 | 300mm / 400mm / 500mm |
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| 가반 질량 | 4kg (제 3관절 환산) |
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제품형식 리스트
| 제품형식 | 승강 거리 |
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| JEL 표준 | MCR3160C-300-AM | 300mm |
| | MCR3160C-400-AM | 400mm |
| | MCR3160C-500-AM | 500mm |
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제품특징
슈퍼클린룸용 300mm 대응 MCR3000C 시리즈
반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 웨이퍼 반송에 적합합니다.
전축 AC 서보에 의한 고속 반송
기존 MHR과 비교해 비용을 대폭 절감할 수 있습니다.
- 암 동작 범위:160mm, 200mm
- 장치 레이아웃에 맞추어 베이스 타이프과 플랜지 타이프에서 선택 가능
- 동작 모니터 장비
- 제어 방식 : RS232C 및 병렬 포트 I/O
- 전축 AC 서보 모터 사용
- S자 가감속 제어로 웨이퍼를 고속, 고정밀도로 반송
- 웨이퍼 유지: 진공 흡착, 패시브 에지, 에지 그립 척, 베르누이 척의 탑재
- 척 재질은 CFRP, 알루미늄, 세라믹 등 각종 재질 사용 가능
- 피반송물, 장치 레이아웃에 가장 알맞은 척으로 대응 가능
표준사양
본 사양은 당사 표준 척(흡착 타입) 장착시의 사양의 일례입니다
| 로봇형식 |
MCR3160C-300-AM |
| 피반송물 |
～300mm 웨이퍼 |
| 웨이퍼 유지 |
진공 흡착, 패시브 에지, 에지 그립 척 |
| 기계구조 형식 |
원통 좌표형 |
제어축 |
3축 |
| 모터 타입 |
전 축 AC서보모터 |
| 동작 범위 |
제품 중심 도달거리 |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 567.7mm |
340deg |
300mm |
| 반송 속도(평균) |
제(R축) |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 1000mm/sec |
360deg/sec |
350mm/sec |
| 반송 속도(최고) |
제(R축) |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 1800mm/sec |
580deg/sec |
530mm/sec |
| 분해능 |
제(R축) |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 9.82µm이하 |
0.0015deg |
1.96µm |
| 반송 레벨 |
639mm(베이스 설치면에서 척의 반송면까지) |
| 반복 정밀도 |
±0.1mm 이내 |
| 클린도 |
ISO Class 2 (구동부 배기시) |
| 유틸리티 |
유틸리티：1상 AC200V±10% 3kVA 진공： -53kPa 이상 (흡착 척) |
| 콘트롤러 형식 |
C5000S |
| 인터페이스 |
RS232C 및 병렬 포트 I/O |
제품 일람
