JEL-Leading Manufacturer of Clean Robot



얼라이너

신형 얼라이너 "SAL3000HV 시리즈" 풀 오토 조정 지원 버전

SAL38C3HV (여러가지 웨이퍼 대응 얼라이너)웨이퍼 얼라이너

SAL38C3HV

产品视频

환경 사양


피반송물

제품명SAL38C3HV
사용유체크린룸 대기
피반송 사이즈200~300 mm
피반송물투명, 반투명, 실리콘
  • 사진은 SAL38C3HV
  • 데모은 풀 오토 조정 지원 버전 "JEL ALIGN TOOL".

제품특징

2016 년 12 월 14 일 출시 얼라이너 "SAL3000HV 시리즈" 에서 풀 오토 조정 지원 버전  JEL ALIGN TOOL 이 포함되어 있습니다.
고객이 직접 얼라이먼트 조정을 할 수 있기 때문에 업체에 문의 및 실제 제품을 보내는 수고와 시간을 크게 줄일 수 있습니다.
*신형 얼라이너 "SAL3000HV 시리즈" 풀 오토 조정 지원 버전(*).
(*)이 소프트웨어는 조정 후의 위치 결정 정밀도를 보증하는 것은 아닙니다.
그렇기 때문에, 조정 후의 위치 결정 정밀도에 관해서는, 고객 소유의 기기로 확인을 부탁드립니다.

200~300 mm웨이퍼용 각종 웨이퍼 재질에 대응한 신형 얼라이너.

  • 실리콘 웨이퍼, 실리콘 웨이퍼 BG테이프(유백색) 부착, 투명, 반투명 웨이퍼 등 웨이퍼 재질에 영향을 받지 않고 얼라이먼트 가능
  • 독자 개발의 이미지 센서를 사용해, 모터 드라이버, 콘트롤러를 본체에 내장
  • 스핀들지름, 형상, 재질의 변경에도 대응 가능
  • 제어 방식 : RS232C 및 병렬 포트 I/O
  • SEMI 규격에 없는 형상의 놋치, 오리진 플랫, 마크 등의 대응도 가능
  • Pick-up/Place 동작이 가능한 Z축 부착도 제작 가능

표준사양

피반송물 SEMI 200~300 mm 웨이퍼 (투명, 반투명, 실리콘) (그 외 특수한 워크, 형상, 재질에도 다양하게 대응 하겠습니다)
위치 결정시간 3초(Pick-up/Place 시간 제외한다)
위치 결정 정도 센터링: ±0.1 mm 이내
플랫/노치 위치: ±0.1deg 이내
센서 LED 조명 + 첨부이미지 센서 유닛에 의한 웨이퍼 엣지 검출
사이즈 변경 커맨드 제어에 의한 변경 또는 통신
클린도 ISO Class 2 (구동부 배기시)
구동 방식 2상 펄스모터 (3축)(모터 드라이버를 본체에 내장)
유틸리티 전원: DC24V±10% 3A    진공: -53 kPa 이상
외관
SAL38C3HV


제품 일람


가이드
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