반도체용 로봇
SCR3160CS3축원통 좌표형 크린 로봇
데모
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환경/사양
피반송물
| 모델 명 | SCR3160CS |
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| 사용유체 | 크린룸 대기 |
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| 암 | 싱글 암 |
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| 도달거리 | 340mm (제 3관절 중심거리) |
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| 승강 거리 | 200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm |
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| 가반 질량 | 3kg (제 3관절 환산) |
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제품형식 리스트
| 제품형식 | 승강 거리 |
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| SCR3160CS-200-PM | 200mm |
| SCR3160CS-300-PM | 300mm |
| SCR3160CS-400-PM | 400mm |
| SCR3160CS-450-PM | 450mm |
| SCR3160CS-500-PM | 500mm |
| SCR3160CS-550-PM | 550mm |
| SCR3160CS-600-PM | 600mm |
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제품특징
슈퍼클린룸용 3축 원통 좌표형 클린로봇 SCR3000CS 시리즈
반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 웨이퍼 반송에 적합합니다.
- 암 동작 범위: 100mm, 130mm, 160mm, 200mm
- 장치 레이아웃에 맞추어 베이스 타이프과 플랜지 타이프에서 선택 가능
- 동작 모니터 장비
- 제어 방식 : RS232C 및 병렬 포트 I/O
- 전축 2상 펄스 모터 사용
- S자 가감속 제어로 웨이퍼를 고속, 고정밀도로 반송
- 웨이퍼 유지: 진공 흡착, 패시브 에지, 에지 그립 척
- 척 재질은 CFRP, 알루미늄, 세라믹 등 각종 재질 사용 가능
- 피반송물, 장치 레이아웃에 가장 알맞은 척으로 대응 가능
표준사양
본 사양은 당사 표준 척(흡착 타입) 장착시의 사양의 일례입니다
| 로봇형식 |
SCR3160CS-300-PM |
| 리스트 블록 |
SARS00169 |
척 |
SC-YW-240 |
| 피반송물 |
～300mm 웨이퍼 |
| 웨이퍼 유지 |
진공흡착 |
| 기계구조 형식 |
원통 좌표형 |
제어축 |
3축 |
| 모터 타입 |
스테퍼 모터 |
| 동작 범위 |
제품 중심 도달거리 |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 502.7mm |
340deg |
300mm |
| 반송 속도(평균) |
제(R축) |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 610mm/sec |
340deg/sec |
250mm/sec |
| 반송 속도(최고) |
제(R축) |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 1220mm/sec |
500deg/sec |
320mm/sec |
| 반복 정밀도 |
±0.1mm 이내 |
| 클린도 |
ISO Class 2 (구동부 배기시) |
| 유틸리티 |
전원：DC24V±10% 15A 진공：-53kPa 이상 |
| 질량 |
로봇 약25kg |
| 콘트롤러 형식 |
C4000 |
| 인터페이스 |
RS232C 및 병렬 포트 I/O |
제품 일람
