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시스템

SORTER SYSTEM (4-port inline type with 600 wafers/h throughput)

SORTER SYSTEM(600 wafers/h)

환경/사양

피반송물

제품형식	SORTER SYSTEM
사용유체	크린룸 대기
피반송 사이즈	300mm
피반송물	실리콘 웨이퍼
피반송물	상세한 것은 문의해 주세요
Throughput	600 장/h

The image above and the video are of SORTER SYSTEM (4-port inline type with 600 wafers/h throughput).

제품특징

SEMI Standard에 준거(E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
고처리율(600 장/h)
반송 로봇은 영역을 제어하기 때문에 신속하고 원활하게 반송할 수 있습니다.
ID 리더를 탑재하여 웨이퍼의 ID 읽기가 가능합니다(앞뒤 대응은 옵션)

표준사양

Standard specifications for 4-port inline type with 600 wafers/h throughput (two sets of horizontal and multi-joint type robot)
Carrier	300mm FOUP (25 웨이퍼) 준거: SEMI E47.1, E62
피반송물	300mm 실리콘 웨이퍼 (두께: 775µm)
Throughput	600 장/h
클린도	ISO Class 2 (FFU 탑재)
외형치수	W 1233mm x D 2160mm x H 2000mm
질량	약 800kg
유틸리티	전원: 단상 AC200V±15% 15A
	Dry air: 0.7MPa-0.4MPa
	진공: -60kPa 이상

외관（표준사양）

가이드

...대기
...진공
...방수
...싱글 암
...트윈 암
...얇은 웨이퍼
...CE 마킹
...JEL표준
...KCs 마킹