JEL-Leading Manufacturer of Clean Robot

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시스템

SSY-10000 (100 mm웨이퍼 탁상 시스템)웨이퍼 반송 로봇

SSY-10000

데모

환경/사양

피반송물

제품형식	SSY-10000
사용유체	크린룸 대기
도달거리	225mm (제품 중심 도달거리)
피반송 사이즈	～100mm
피반송물	글라스, 사파이어, SiC, GaN등의 웨이퍼
피반송물	상세한 것은 문의해 주세요
가반 질량	0.1kg(웨이퍼)

사진과 데모은 SSY-10000(100 mm웨이퍼 탁상 시스템)

제품특징

2, 3 인치, 100 mm글라스, 사파이어, SiC, GaN, 등등의 웨이퍼에 대응한 탁상 로더 시스템.

웨이퍼 검사 스테이지와 반송 부분이 일체화한 컴팩트한 탁상 시스템
X축 190 mm, Y축 200 mm의 롱 스트로크 설계이며, 어느 위치에서도 수동으로 핸들을 조작이 가능
반송 로봇은 2개의 척을 가져, 검사 스테이지에의 웨이퍼 교체 동작을 단시간에 완료 가능
로봇과 수동정렬 얼라이먼트 스테이지의 편성으로 저비용・공간절약・고기능의 시스템을 실현

표준사양

동작 범위	제품 중심 도달거리	선회(θ축)	상하(Z축)
피반송물	～100mm웨이퍼 (글라스, 사파이어, SiC, GaN, 등)
동작 범위	225mm	360deg	150mm
반송 속도 （평균）	제(R축)	선회(θ축)	상하(Z축)
반송 속도 （평균）	225mm/sec	500deg/sec	200mm/sec
반송 속도 （최고）	제(R축)	선회(θ축)	상하(Z축)
반송 속도 （최고）	300mm/sec	700deg/sec	300mm/sec
웨이퍼 유지	진공흡착
반복 정밀도	±0.1mm 이내
클린도	ISO Class 2 (구동부 배기시)
질량	로봇 약15kg
유틸리티	전원：AC100V±10% 0.2kVA 진공：-53kPa이상

외관

가이드

...대기
...진공
...방수
...싱글 암
...트윈 암
...얇은 웨이퍼
...CE 마킹
...JEL표준
...KCs 마킹