시스템
SORTER SYSTEM150mm
데모 |
환경/사양피반송물
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제품특징
- 수평다축 Robot(GCR4210-500-AM)를 탑재하는 것에 의해 주행축 없이4Cassette에 Access가능합니다.
- Z축 Stroke500mm의 채용에 의해 Cassette를 상하 2단으로 배치 가능합니다.
- Robot에 반전축을 탑재하는 것에 의해、하면처리의 경우에도、처리면으로 접촉하는 것 없이 반송이 가능합니다.
- Robot Wrist block부에 Mapping sensor를 탑재하고、Cassette내의 Wafer를 검출합니다.
- 개폐문은 개폐검출 Sensor를 탑재、Robot동작중에는 Lock되어 안전면에도 배려됨.
- 유리(투명Work)대응 Aligner탑재(SAL3361GR)
- 고객의 장치와의 취합은、임의로 변경가능합니다 (HOST통신에 대해서는 별도 협의합니다.)
- 또、고객의 요구사양에 맞춰 커스터마이즈도 가능합니다.
표준사양
| 피반송물 | 150mm웨이퍼（글라스, 사파이어, GaAs） | |||
|---|---|---|---|---|
| 처리가능장수 | 140장/h (장비쪽의 처리 시간은 포함하지 않음) | |||
| <GCR4210-500-AM> | ||||
| 동작 범위 | 제품 중심 도달거리 | 선회(θ축) | 상하 (Z축) |
반전축 |
| 672mm | 335deg | 500mm | 180deg | |
| 반송 속도 （평균） |
암 | 선회(θ축) | 상하 (Z축) |
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| 550mm/sec | 300deg/sec | 300mm/sec | ||
| 반송 속도 (최대속도) |
암 | 선회(θ축) | 상하 (Z축) |
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| 900mm/sec | 400deg/sec | 450mm/sec | ||
| 반전유니트無흡착 반송시 |
암 | 선회(θ축) | 상하 (Z축) |
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| 1800mm/sec | 540deg/sec | 500mm/sec | ||
| 반복 정밀도 | ±0.1mm 이내 | |||
| <SAL3361GR> | ||||
| 위치 결정 정도 | 중심 ±0.2mm以内 플랫위치 ±0.2도이내 | |||
| 위치 결정시간 | Notch검측 3초이내(재부팅 동작이 없을경우) | |||
| 위치 보정 범위 | 半径4mm以内 | |||
| <시스템> | ||||
| 웨이퍼 유지 | 진공흡착 | |||
| 클린도 | ISO Class2(ISO14644) | |||
| 풋프린트 | 640mm×835mm(터치판넬 제외) | |||
| 질량 | 약350kg | |||
| 유틸리티 | 전원：전원 AC200V 15A 진공：-53kPa이상 (흡착 척) | |||
| 외관 |
|---|
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가이드
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