시스템

LED용을 비롯한 새로운 반송 방식의 웨이퍼용 반송 시스템입니다.

• 복수 웨이퍼 처리용 서셉터(트레이)로의 웨이퍼 자동 공급, 자동 회수가 가능합니다.
• 웨이퍼용과 서셉터용으로 각각 얼라이너를 탑재하고 있어, 웨이퍼의 오리엔테이션 플랫 위치나 서셉터의 센터링 및 인덱싱을 실시합니다.

다양한 워크 사이즈나 카세트 수 등에 대응 가능합니다.
사양에 대해서는 문의해 주십시오.

외관