시스템
SSY-20010웨이퍼 컨테이너 자동 이송 시스템
데모
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환경/사양
피반송물
모델 명 |
SSY-20010 |
사용유체 |
크린룸 대기 |
대응 카셋트 |
200 mm 카셋트 200 mm 웨이퍼 컨테이너 |
피반송 사이즈 |
200 mm |
피반송물 |
실리콘 웨이퍼, 스페이서 |
워크사이즈, 웨이퍼 컨테이너 수, 얼라이너 부착등, 각종 대응을 합니다.
웨이퍼 컨테이너는 각각의 회사에 대응 하겠습니다.자세한 것은 문의해 주십시오.
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제품특징
프로토스 캐리어내의 얇은 웨이퍼를 안전, 확실하게 반송.
- 웨이퍼 컨테이너,카셋트 사이의 손상 없이 자동이재
- 베르누이 척을 탑재하여, 박막 웨이퍼도 대응
- 웨이퍼 컨테이너에 있는 웨이퍼와 컨테이너 스페이서(층 간지)를 자동 식별
- 워크의 높이도 자동인식
- 복수 카셋트 및 각 인치 사이즈에도 고객사양에 대응
- 웨이퍼 컨테이너 뚜껑이 자동 개폐 기구 탑재
- Achilles Corporation 제품 웨이퍼 컨테이너 대응
- 파인 필터 유니트(HEPA 사양)를 배치하여, 클린도를 확보
- 컬러 센서 탑재로, 색이 다른 컨테이너 스페이서(층 간지)도 검출 가능
표준사양
워크사이즈, 웨이퍼 컨테이너 수, 얼라이너 부착등, 각종 대응을 합니다.
사양에 대해서는 문의 바랍니다.
피반송물 |
300 mm 실리콘 웨이퍼, 300 mm 스페이서 |
대응 카셋트 |
300 mm 카셋트, 300 mm 웨이퍼 컨테이너 |
클린도 |
파인 필터 유니트(HEPA 사양)를 배치하여, 클린도를 확보 |
외형치수 |
1350 (W) x 1434 (D) x 1900 (H) |
대응 카셋트 |
전원: AC200V±10% 크린에어: 0.5 MPa 250 NL/min 이상 진공:-70 kPa 이상 |
질량 |
450 kg |
제품 일람