반도체용 로봇
STCR4160SN(박막 웨이퍼 및 웨이퍼 주위 접촉 흡착 대응)4축원통 좌표형 크린 로봇
데모
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환경/사양
피반송물
| 모델 명 | STCR4160SN |
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| 사용유체 | 크린룸 대기 |
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| 암 | 트윈 암 |
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| 도달거리 | 475mm (제 3관절 중심거리) |
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| 승강 거리 | 200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm |
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| 가반 질량 | 3kg (제 3관절 환산) |
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제품형식 리스트
| 제품형식 | 승강 거리 |
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| STCR4160SN-200-PM | 200mm |
| STCR4160SN-300-PM | 300mm |
| STCR4160SN-400-PM | 400mm |
| STCR4160SN-450-PM | 450mm |
| STCR4160SN-500-PM | 500mm |
- 사진과 데모은 STCR4160SN-300-PM
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제품특징
슈퍼 크린룸용 4축원통 좌표형 크린 로봇.
저가격, 고속 반송, 탈조레스를 실현했다 박막 웨이퍼 및 웨이퍼 주위 접촉 흡착 대응 신형 트윈 암 로봇.
- 스텝 모터 구동이면서 탈조레스의 제어 방식을 채용해, 로봇의 신뢰성을 향상
- 고강성・암 제 3 관절 환산 3 kg(리스트 블록, 척, 워크 포함한다)
- 장치 레이아웃에 맞추어 베이스 타이프과 플랜지 타이프에서 선택 가능
표준사양
본사양은 상 척: 당사 흡착 척(웨이퍼 외주), 하 척: 당사 얇은 형태의 베르누이 척 장착시의 사양입니다
| 로봇형식 |
STCR4160SN-300-PM |
| 리스트 블록 |
SART09362 |
척 |
상 척：3D-09371
하 척：3D-09370 |
| 피반송물 |
～300mm 실리콘 웨이퍼 |
| 웨이퍼 유지 |
상 척: 진공 흡착에 의한 보관 유지(웨이퍼 외주)
하 척: 사이클론 패드에 의한 흡입과 friction 고무에 의한 보관 유지(접촉 부 재질은 각종 제작 가능) |
| 기계구조 형식 |
원통 좌표형 |
제어축 |
4축 |
| 모터 타입 |
전 축 2상 펄스모터 |
| 동작 범위 |
제품 중심 도달거리 |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 625mm |
340deg |
300mm |
| 반송 속도(평균) |
제(R축) |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 400mm/sec |
180deg/sec |
200mm/sec |
| 반송 속도(최고) |
제(R축) |
선회(θ축) |
상하(Z축) |
| 800mm/sec |
220deg/sec |
250mm/sec |
| 반복 정밀도 |
±0.1mm 이내 |
| 클린도 |
ISO Class 2 (구동부 배기시) |
| 유틸리티 |
전원：DC24V±10% 16A
크린에어:60SLM 이상 0.1～0.3MPa 진공：-53kPa이상 |
| 질량 |
로봇 약 30kg |
| 콘트롤러 형식 |
C4000시리즈 |
| 인터페이스 |
RS232C 및 병렬 포트 I/O |
제품 일람
