JEL-Leading Manufacturer of Clean Robot



반도체용 로봇

STWCR4160 (방수용)4축원통 좌표형 크린 로봇

STWCR4160-300-PM

환경/사양

피반송물

모델 명STWCR4160
사용유체 크린룸 대기
트윈 암
도달거리315 mm (제 3관절 중심거리)
승강 거리300 mm
가반 질량3 kg이하 (제 3관절 환산)

제품형식 리스트

제품형식승강 거리
STWCR4160-300-PM300 mm
  • 사진은 STWCR4160-300-PM

제품특징

방수 대응 4축 원통 좌표형 로봇 STWCR4160 시리즈.
알칼리 미스트 분위기중에서의 웨이퍼 반송에 적합합니다.

  • 암 동작 범위:160 mm, 200 mm
  • 암 부분은 테플론 코팅으로 내식성을 확보
  • 암 관절부 방수 구조에 V 실 사용
  • 부품 접합부는 Viton(불소고무) 패킹으로 밀봉
  • Z축부 방수 구조에 자바라 사용
  • 트윈 암 채용에 의해, 웨이퍼 교환 시간의 단축
  • 동작 모니터 장비
  • 제어 방식 : RS232C 및 병렬 포트 I/O
  • 전축 2상 펄스 모터 사용
  • S자 가감속 제어로 웨이퍼를 고속, 고정밀도로 반송
  • 웨이퍼 유지: 진공 흡착, 패시브 에지, 에지 그립 척
  • 피반송물, 장치 레이아웃에 가장 알맞은 척으로 대응 가능

표준사양

은 STWCR4160-300-PM 에지 그립 척 타이프 사양입니다.
로봇 사양
로봇형식 STWCR4160-300-PM
피반송물 ~300 mm 웨이퍼
웨이퍼 유지 진공흡착
기계구조 형식 원통 좌표형 제어축 4축
모터 타입 2상 펄스모터
동작 범위 암 3관절 중심거리 선회(θ축) 상하(Z축)
315 mm 340 deg 300 mm
반송 속도(평균) 제(R축) 선회(θ축) 상하(Z축)
280 mm/sec 90 deg/sec 90 mm/sec
반송 속도(최고) 제(R축) 선회(θ축) 상하(Z축)
550 mm/sec 120 deg/sec 120 mm/sec
분해능 제(R축) 선회(θ축) 상하(Z축)
126 µm이하 0.0045 deg 6.25 µm이하
반복 정밀도 ±0.2mm이내
유틸리티 전원:DC24V±10% 11A   에어:0.15 MPa이하
콘트롤러 사양
콘트롤러 형식 C4000시리즈
인터페이스 RS232C 및 병렬 포트 I/O


제품 일람

가이드
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