얼라이너
SVAL3001（진공 얼라이너）웨이퍼 얼라이너
데모 |
환경/사양피반송물
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제품특징
- 가반 질량：4kg
- Tray grip Arm에 의한 Edge Grip 방식으로 유지합니다.
- 진공 실 : 자성 유체 실 및 벨로스 사용
- 동작 모니터 장비
- 제어 방식 : RS232C 및 병렬 포트 I/O
- Index기능: Tray내의 웨이퍼 배치상태에 맞춰 임의의 각도로 선회합니다.
표준사양
| 피반송물 | SEMI규격 실리콘 웨이퍼 100mm～300mm、사셉터 |
|---|---|
| 위치 결정시간 | 노치 탐색：4초이내(재부팅 동작이 없을경우) |
| 위치 결정 정도 | 센터링：±0.3mm이내 노치 위치：±0.3deg이내 |
| 센서 | 내진공한정 반사형 파이버 센서 |
| 내진공도 | 1.33x10-6Pa |
| 구동 방식 | 2상 스테핑 모터 3축 사용 컨트롤러 별치(내장하지 않았습니다) |
| 유틸리티 | 전원：DC24V±10% 8A |
| 외관 |
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가이드
- ...대기
- ...진공
- ...얇은 웨이퍼
- ...CE 마킹
- ...JEL표준
- ...KCs 마킹