JEL-Leading Manufacturer of Clean Robot

반송 소개 동영상

2인치 반송 시스템

반송부, 진공 트랜스퍼 챔버의 소형화에 기여합니다. 업계 최소 클래스, 장치의 소형화가 가능.

  • TSCR3060N (2인치대응 대기 크린 로봇)
    상사 표준비 대기로봇: 풋 프린트 75%(□115x130mm), 용적비 80% 다운
  • TSVCR3060N (2인치대응 진공 크린 로봇)
    당사 표준비 진공로봇:풋프린트 65%(φ95mm), 용적비 75%다운
  • SAL1021 (2인치대응 대기 얼라이너)
    당사 표준비 대기 얼라이너: 풋프린트 80%(□85x100mm), 용적비 80% 다운


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