MEMS 디바이스·LED 웨이퍼용 소경 웨이퍼 반송 로봇의 소개

로봇 풋프린트의 기존 기종과 비교 □240mm→□160mm

차세대 조명으로 저소비전력과 긴 수명으로 주목을 받고 있는 LED 조명. 향후 공공시설이나 일반용으로 수요가 확대될 것으로 기대됩니다.

LED나 화합물반도체 등에 사용되는 소형 사이즈(50.8mm - 150mm)의 웨이퍼에 대해 반송 로봇이 너무 크다고 생각하지 않으셨습니까? 저희 JEL은 작은 웨이퍼의 반송을 위해 공간 절약과 저렴함을 컨셉으로 하는 소형 로봇 SCR3100S(50.8mm∼150mm 웨이퍼 대응)를 개발하였습니다. 또한 소형·투명 웨이퍼의 얼라인먼트에 대응한 얼라이너 SAL2241(50.8mm - 100mm)도 라인업에 추가하였습니다.

현재 반송 장면을 실제로 체험해 볼 수 있도록 폐사나 혹은 고객을 직접 방문하여 데모를 실시하고 있습니다.
자료나 데모를 원하시는 분은 폐사 영업 부문으로 언제든지 연락하여 주십시오.

소경 웨이퍼 반송 로봇