SEMICON Japan 2025 에서 전시된 제품 비디오 소개
JEL의SEMICON Japan 2025 출전기 라인업을 게재하고 있으니, 꼭 한번 봐 주세요.
출전기 또한 당사 제품에 대한 상세 내용은 문의해 주세요.
초고진공 반송 로봇 DTVFR
초 고진공 환경에서 반송 가능.
초 고진공 로봇이 차세대 반도체 제조의 신뢰과 효율을 혁신.
미세화,고순도화에 대응하는 최선단 반송 기술을 소개드립니다.
내진공도,리크 레이트는 세계 최고 수준의 기체입니다.
N₂ 퍼지 대응 EFEM SSY
웨이퍼 반송에리어의N₂농도를 높이는 것으로, 산소나 수분을 배제해, 웨이퍼의 산화 리스크를 저감합니다.
N₂ 분위기 에리어를 한정하는 것으로, EFEM내 전체를 N₂퍼지하는 사양과 비교해,
N₂소비량을 약 1/2로 억제합니다.
SEMICON Japan 2025 페이지를 보려면 여기를 클릭하십시오.