트러블슈팅
※반도체용 로봇 공통
초기 작동에서의 트러블
흡착계의 트러블
조작 및 제어 트러블
Arm이 부딪쳤을 경우
- 조정은 고객의 책임으로 실시하시기 바랍니다.
(당사 지정 트레이닝을 받으시는 것을 추천합니다)
- Arm이 부딪쳤을 경우
- Arm (PDF)
- Arm origin adjusment manual for single arm (PDF)
- Arm origin adjusment manual for twin arm (PDF)
에러가 발생한 경우
- 에러가 발생한 경우
- Errors 01-06 (PDF)
- Error *1 (PDF)
- Error *2 (PDF)
- Error *3 (PDF)
- Error *4 (PDF)
- Error *07 (PDF)
- Error *08 (PDF)
- Error *75 (PDF)
- Error *77 (PDF)