제3회 차세대조명기술 전시회 안내
평소의 각별한 배려에 대해서 진심으로 감사의 말씀을 올립니다. 당사는 일본반도체전시회에 아래의내용과 같이 출전합니다. 왕림하신 여러분들께서 당사제품의 성능을 실감하실 수 있도록 각종 제품실기를 사용한 전시 및, 새로 개발한 기종의 데몬스트레이션을 실시합니다.
이번 전시회의 출전 테마,
「Leading Edge Design - 최선단의 제안 - 」
신제품의 전시, 새로운 반송스타일을 제안하려고 합니다.
입장하실경우 하기의 등록을 해 주신후, 부디 당사의 부스에 들러주십시오.
여러분들의 내방을 진심으로 반갑게 맞이 하겠습니다.
개최일자: 2011년1월19일(수) - 21일(금)
개최장소: 동경 빅 사이트(BIG SIGHT)
출전제품안내
SORTER SYSTEM (150mm)
LED용을 비롯한 Wafer용 반송 시스템의 새로운 제안입니다. 시스템 내에서 Wafer를 카세트에서 꺼내서, 얼라이멘트실시후 장비스테이지에 이송 됩니다. 설비의 풋프린트 축소에 의해 반송부의 공간절약화가 가능합니다. 실제 반송 데모기를 봐주십시오.
사셉터반송용 진공로봇&진공얼라이너 :
SVCR3330S-060-PM & SVAL30D1
사셉터에 여러 장의 Wafer를 올려놓고 진공환경에서 반송합니다. 내하중을 올리고, 반송시간을 단축하기 위해서 Twin Chuck사양으로 제안합니다. 또한 진공환경에서 사셉터를 얼라이멘트 할수 있는 진공얼라이너를 개발했습니다. 각종 Tray의 크기와 모양에도 대응이 가능합니다.실제 반송 데모기를 봐주십시오.
소형 로봇&얼라이너 (2인치∼4인치용) :
SSCR3115N-150-PM & SSCR2090S-PM & SAL3241GR
LED용을 비롯한 소형Wafer 전용으로 개발되어 2인치∼4인치 Wafer 반송에서의 풋프린트 축소를 실현한 대기용 반송로봇과 얼라이너입니다. 로봇은 암레스와 링크암의 2종류를 준비했습니다. 반송데모에서 컴팩트감을 실감해보십시오.