Semicon Japan 2011
올해도 SEMICON JAPAN2011에 최신 제품을 출전합니다.
직접 오시는 분들은 JEL장치의 성능을 실감하실 수 있도록, 각종제품실기를 준비 전시 및,
신기종의 Demonstration을 실시합니다.
「Leading Edge Design - 최선단의 제안 - 」
라는 테마를 계양하고, 최신제품을 전시하고 새로운 반송 Style을 제안드립니다.
개최일자:2011년 12월 7일(수)~9일(금)
개최장소:마쿠하리 멧세(Makuhari Messe)
본사부스번호:5Hall 5B-607
출전제품안내
배치(서셉터, 트레이)로의 로드/언로드 시스템 : SSY-10020
Susceotors 또는 Trays 등의 Batch 처리를 위한 자동 Loader/Unloader System을 개발.
JEL에서 가장 적합한 System을 제안합니다.
Warpe, Thin Wafer대응 Chuck
많은 고객의 요구에 대응하기 위하여, 낮은 가격에 Warpe, Thin Wafer 대응
Chuck을 개발하여 고객의 컨셉에 맞춰 Chuck형상의 제안을 실시 합니다.
2inch wafer에 대응하는 초소형 반송 Robot/Aligner : SSCR3090S-150-PM/SAL2241
세계 최고 수준의 최소 및 경량 설계를 실현 했습니다.
Aligner는 2～4inch Wafer의 Alignment를 1대로 실시 합니다.
450㎜Wafer대응 수평 다관절형 반송 Robot : GTCR5280-420-AM
450mm대응 장치용의 반송 Robot으로써、Twin chuck으로 높은 Throughput을
가능하게 합니다. 당사의 종전 대비 20％ 증가 된 반송 속도를 실현 했습니다.
300㎜ Wafer 대응 원동 좌표형 반송 Robot : MTCR4160-300-AM
AC Servo motor를 탑재한 Twin Arm Robot의 소형 Controller를 개발.
당사의 종전 대비 65％부피의 Controller 소형화를 실현 했습니다.
탁상 로더 시스템 : SSY-10000
수동으로 Wafer를 취급하는 것으로 인한 Risk를 해소하고, 품질의 안정과
제품 수율 향상을 목적으로 한 Wafer 공급 System을 제안합니다.