SEMICON China 2012
대만에서 자사 판매 창구, Challentech International Corporation의 부스에서 저희 로봇을 출전합니다.
참석해 주신 많은 방문객들께 감사 드립니다.
기간 :2012년 03월 20일~22일
출전제품안내
SCR3100S-200-PM (베르누이 척)
많은 고객의 요구에 맞추어 저렴하면서 휘거나 얇은 웨이퍼에 대응 가능한 척을 개발. 고객의 콘셉트에 맞춘 척 형상을 제안합니다.
SCR + SAL3261GR
2~6 인치 Wafer를 1대의 Robot, Aligner로 반송 하는 것을 실현했습니다. Compact한 반송부를 제안합니다.
GCR4210-300-AM
주행 축없이 평행으로 배치 된 2 개의 FOUP 카세트 웨이퍼의 고속 반송이 가능합니다. 300mm 웨이퍼 대응의 반도체 제조 장치의 검사 장치 등의 웨이퍼 고속 반송에 적합합니다.