참석해 주신 많은 방문객들께 감사 드립니다.
Date:2013/12/04
마쿠하리멧세에서 개최된 세미컴·재팬 2013(기간12/4∼6)은, 성황리에 무사히 종료했습니다. 바쁘신 중에도 불구하고, 당사 부스를 방문해 주신분께 이 자리를 빌어 깊이 감사의 말씀을 드립니다.
개최일자 : 2013년 12월 04일~06일
개최장소 : 마쿠하리 멧세(Makuhari Messe)
폐사 부스 번호 : 4A-501
출전제품안내
450 mm웨이퍼 반송 로봇/450 mm웨이퍼 얼라이너:
GCR4280-420-AM/SAL30J1HV (신형 제품)
450 mm웨이퍼를 반전, 에지그립 보관 유지할 수 있는 로봇에서 고속 반송 데모를 실시합니다.
노치레스 웨이퍼에도 대응하는 신형 얼라이너.
웨이퍼 반송 로봇/웨이퍼 얼라이너:
STCR4160SN-300-PM (신형 제품)/SAL3481HV (신형 제품)
저가격, 고속 반송, 탈조가 없도록 실현한 신형 트윈 암 로봇.
각종 웨이퍼 재질에 대응한 신형 얼라이너.
탁상용 로더시스템:
SSY-10000
2, 3 인치, 100 mm글라스, 사파이어, SiC, GaN, 등의 웨이퍼에 대응.
웨이퍼 반송 로봇/베르누이 얼라이너:
STCR4160SN-300-PM (신형 제품)/SAL3481
저가격, 고속 반송, 탈조가 없도록 실현한 신형 트윈 암 로봇.
・웨이퍼 외주 5 mm흡착 척:
랜덤 억세스가 가능
・박형 베르누이 척(특허 출원중):
휘어진 상태 웨이퍼, 얇은 웨이퍼를 카셋트 슬롯으로부터 랜덤 억세스 가능.
휨, 얇은 웨이퍼 대응 베르누이 척, 베르누이 핀셋:
베르누이 핀셋: BRP-01
Low cost & 고객사양 설계의 베르누이 척.