기타

• 휘어진 상태가 있는 웨이퍼, 얇은 웨이퍼에 대응시, 코스트 퍼포먼스가 뛰어난 베르누이 척 입니다.
• 폐사의 대기 환경용 반송 로봇이 있다면, 어떤 타입의 로봇에게도 탑재 가능합니다.
• 샘플 웨이퍼에 의한 검증을 실시해, 고객의 임의의 형상으로 각종 사이즈, 휨량, 웨이퍼 두께에 대응한 설계를 실시합니다.
• 반송시의 틀어짐을 방지하기 위해 friction 고무의 마찰력으로 잡아줍니다.
• 척측의 면은 접촉을 합니다만, 웨이퍼 사이즈가 다른 경우에 겸용(※조합에 의해, 할 수 없는 경우가 있습니다)할 수 있어 비접촉 타입과 비교해 척의 두께를 얇게 만드는 것이 가능합니다.
• 흡입이 베르누이 이므로, 진공 흡착척 보다 넓은 공간에 힘이 걸려, 얇은 웨이퍼에 유효합니다.

그 외의 상세 사양에 대해서는 문의해 주세요.