베르누이 척의 구조
공급 포토로부터 도입된 에어가 원통부 측면에 있는 노즐로부터 분출해져 원통부 내부에서 선회류가 되어 진공을 발생시킵니다. (사이클론 효과)
공급 에어는 흡착면과 웨이퍼의 사이로 부터, 대기에 방출됩니다.
그 결과, 사이클론 패드와 웨이퍼의 사이에 에어층이 발생해, 비접촉으로의 떠 오르는 것이 가능하게 됩니다.
특징
용도에 따라 베르누이 방식, 사이클론 방식의 선택이 가능합니다.
베르누이 방식
- 많은 고객의 요구의 회답으로, 휘어진 상태・얇은 웨이퍼에 대응한 저가격 척을 개발.
- 여러가지 반송제품의 사이즈, 형상에 대응이 가능합니다.
- 웨이퍼를 낮은 스트레스로 보관 유지하는 것이 가능해져, 웨이퍼에의 데미지를 최소한으로 합니다.
- 베르누이 방식의 특징은 척의 두께를 얇게 할 수 있습니다.
사이클론 방식
- 직경 25 mm, 두께 2.5 mm의 사이클론 패드를 탑재.
- 여러가지 반송제품의 사이즈, 형상에 대응 가능.
- 베르누이 얼라이너에도 대응 가능.
- 사이클론 방식의 특징은 베르누이 방식과 비교해서 강한 보관 유지력이 있습니다.
대상기종
링크를 클릭하시면, 제품 홈페이지를 보실 수 있습니다.
| 베르누이 척(접촉타입) | 베르누이 척(비접촉 타입) |
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| 베르누이 핀셋（BRP-01, BRP-02） | |
 ・상기의 이미지는 BRP-01입니다. |