반도체용 로봇

슈퍼 크린룸용 3축원통 좌표형 크린 로봇.
저가격, 고속 반송, 탈조레스를 실현했다〜300 mm웨이퍼 대응 신형 싱글 암 로봇.

• 급격한 부하 변동이나 급가속에서도 탈조하지 않는 Closed-loop 제어를 채용해, 로봇의 신뢰성을 더욱 향상
• Absolute Encoder를 탑재하고 있는 것으로, 현재의 위치를 파악, 원점복귀 후 동작에 걸리는 시간을 단축
• 배터리 불필요한 기계식 다회전 Absolute 센서를 탑재
• 종래의 기계와 호환성(설치 호환, 성능 호환)이 있어, 교체가 가능
• 고강성・암 제 3 관절 환산 3 kg(리스트 블록, 척, 워크 포함한다)
• 암 동작 범위: 100mm, 130mm, 160mm, 200mm
• 장치 레이아웃에 맞추어 베이스 타이프과 플랜지 타이프에서 선택 가능
• 베르누이 척의 탑재 가능(옵션)