반도체용 로봇
STCR4160S(트윈 암 반전 기구부착)4축원통 좌표형 크린 로봇
데모 |
환경/사양피반송물
제품형식 리스트
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||
제품특징
- 얇은 웨이퍼를 JEL의 베르누이・척을 사용해 보관 유지
- 고강성・암 제3 관절 환산 3 kg(척, 워크 포함)
- 스테핑 모터를 채용해, 소비 전력을 줄여서 에너지 절약 설계
- 트윈 암 채용에 의해, 웨이퍼 교환 시간의 단축
- 양암 모두 반전 기구 부착
- 장치 레이아웃에 맞추어 베이스 타입, 플랜지 타입의 선택 가능
표준사양
| 로봇 사양 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 로봇형식 | STCR4160S-300-PM | |||
| 리스트 블록 | SART08674 | 척 | 베르누이 척의 탑재 | |
| 피반송물 | 150mm, 200mm웨이퍼 | |||
| 웨이퍼 유지 | 사이클론 패드에 의한 흡인과 friction 고무에 의한 보관 유지 (접촉부 재질은 여러종류의 제작 가능) |
|||
| 기계구조 형식 | 원통 좌표형 | 제어축 | 4축 | |
| 모터 타입 | 스테퍼 모터 | |||
| 동작 범위 | 제품 중심 도달거리 | 선회(θ축) | 상하(Z축) | |
| 640mm | 340deg | 300mm | ||
| 반송 속도(평균) | 제(R축) | 선회(θ축) | 상하(Z축) | |
| 500mm/sec | 180deg/sec | 200mm/sec | ||
| 반송 속도(최고) | 제(R축) | 선회(θ축) | 상하(Z축) | |
| 1230mm/sec | 300deg/sec | 250mm/sec | ||
| 클린도 | ISO Class 2 (구동부 배기시) | |||
| 유틸리티 | 전원：DC24V±10% 16A 정압 에어: 60 SLM 이상 (2-vacuum line) | |||
| 질량 | 로봇 약 30kg | |||
| 콘트롤러 사양 | ||||
| 콘트롤러 형식 | C4000 | |||
| 인터페이스 | RS232C 및 병렬 포트 I/O | |||
| 외관（표준사양） |
|---|
|
가이드
- ...대기
- ...진공
- ...방수
- ...싱글 암
- ...트윈 암
- ...얇은 웨이퍼
- ...CE 마킹
- ...JEL표준
- ...KCs 마킹