반송 소개 동영상

Closed-loop제어

슈퍼 크린룸용 3축원통 좌표형 크린 로봇. 저가격, 고속 반송, 탈조레스를 실현했다〜300 mm웨이퍼 대응 신형 로봇. STCR4160SN (Closed-loop제어) (원통 좌표형 트윈 암 클린로봇) *원통 좌표형 싱글 암 클린로봇 도 대응합니다: SCR3160CSN (Closed-loop제어)

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