본사 전시장
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전시 로봇
본사 전시장에서는 주력 제품을 중심으로 한 로봇 및 베르누이 척의 전시를 실시하고 있습니다.
방문을 원하시면 아래의 주소로 문의 부탁 드립니다.
- 테이프 프레임 반송: MTCR4160
- 전체 카세트 슬롯에 수납된 테이프 프레임에 랜덤 액세스 가능. 300 mm까지의 다양한 크기의 테이프 프레임에 대응 가능합니다.
- 수평다관절형 싱글 암 로봇: GCR4210 (AC servo motor)
- 쳑의 방향이 카세트에 대해서 직선 이동하고, 엣지 그립에 의한 반송이나 각이 있는 기판 반송도 주행축 없이 대응 가능 합니다.
- 유사다축 사양 트윈 암 로봇: STCR4160SN (Closed-loop control)
- 병렬 배치된 챔버 스테이지에 주행축 없이 반송할 수 있어 레이아웃의 자유도가 높고, 비용절감에 기여 합니다.
- 2 인치〜300 mm웨이퍼 대응 원통 좌표형 싱글 암 로봇: SCR3160CSN (Closed-loop control)
- 급격한 부하 변동이나 급가속에서도 탈조하지 않는 Closed-loop 제어를 채용해, 로봇의 신뢰성을 더욱 향상 합니다.
- 5매 일괄 가변척 탑재 로봇: MTCR4160L
- 세로형 노(爐)등의 피치가 다른 카세트에 대한 고속 반송을 실현 했습니다.
- 웨이퍼 반송용 신형 로봇/워페이지 대응 신형 얼라이너: MTCR (참고 전시)/SAL38C3HV (참고 전시)
- 반도체 디바이스 미세화 대응을 위해 저진동을 실현 했습니다.휨(뒤틀림)이 큰 웨이퍼에 대응 가능합니다.
- 웨이퍼 반송용 로봇/얼라이너: STCR4160SN-300-CM/SAL38C2 (Optical 얼라이너)
- 〜300mm 웨이퍼 대응 트윈 암 로봇으로 저가격, 고속반송, 탈조레스를 실현했습니다. 반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등에서 웨이퍼 위치 결정이 필요한 반송에 대응 가능 합니다.
- 웨이퍼 컨테이너 자동 이송 시스템: SSY-10010
- 프로토스 캐리어내의 얇은 웨이퍼를 안전하고, 확실하게 반송 가능 합니다.
- 탁상용 로더시스템: SSY-10000
- 2, 3 인치, 100mm 글라스, 사파이어, SiC, GaN 둥의 웨이퍼에 대응 가능 합니다.
- 탁상 로더 시스템: SSY-10000
- 사람이 손으로 웨이퍼를 취급하는 것에 따른 리스크를 해소하고, 품질 안정과 수율 향상을 목적으로 한 웨이퍼 공급 시스템을 제안합니다.
