JEL-Leading Manufacturer of Clean Robot

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전시 로봇

본사 전시장에서는 주력 제품을 중심으로 한 로봇 및 베르누이 척의 전시를 실시하고 있습니다.
방문을 원하시면 아래의 주소로 문의 부탁 드립니다.

Tape-frame handling robot
테이프 프레임 반송: MTCR4160
전체 카세트 슬롯에 수납된 테이프 프레임에 랜덤 액세스 가능. 300 mm까지의 다양한 크기의 테이프 프레임에 대응 가능합니다.

GCR4210 (AC servo motor)
수평다관절형 싱글 암 로봇: GCR4210 (AC servo motor)
쳑의 방향이 카세트에 대해서 직선 이동하고, 엣지 그립에 의한 반송이나 각이 있는 기판 반송도 주행축 없이 대응 가능 합니다.

STCR4160SN (Closed-loop control)
유사다축 사양 트윈 암 로봇: STCR4160SN (Closed-loop control)
병렬 배치된 챔버 스테이지에 주행축 없이 반송할 수 있어 레이아웃의 자유도가 높고, 비용절감에 기여 합니다.

SCR3160CSN (Closed-loop control)
2 인치〜300 mm웨이퍼 대응 원통 좌표형 싱글 암 로봇: SCR3160CSN (Closed-loop control)
급격한 부하 변동이나 급가속에서도 탈조하지 않는 Closed-loop 제어를 채용해, 로봇의 신뢰성을 더욱 향상 합니다.

Clean robot with batch end-effector for 5 pieces of wafer
5매 일괄 가변척 탑재 로봇: MTCR4160L
세로형 노(爐)등의 피치가 다른 카세트에 대한 고속 반송을 실현 했습니다.

New wafer transfer robot/Warped wafer aligner with auto-adjustment software
웨이퍼 반송용 신형 로봇/워페이지 대응 신형 얼라이너: MTCR (참고 전시)/SAL38C3HV (참고 전시)
반도체 디바이스 미세화 대응을 위해 저진동을 실현 했습니다.휨(뒤틀림)이 큰 웨이퍼에 대응 가능합니다.

Wafer Transfer Robot/Aligner
웨이퍼 반송용 로봇/얼라이너: STCR4160SN-300-CM/SAL38C2 (Optical 얼라이너)
〜300mm 웨이퍼 대응 트윈 암 로봇으로 저가격, 고속반송, 탈조레스를 실현했습니다. 반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등에서 웨이퍼 위치 결정이 필요한 반송에 대응 가능 합니다.

Automatic wafer transfer system for wafer container
웨이퍼 컨테이너 자동 이송 시스템: SSY-10010
프로토스 캐리어내의 얇은 웨이퍼를 안전하고, 확실하게 반송 가능 합니다.

SSY-10000
탁상용 로더시스템: SSY-10000
2, 3 인치, 100mm 글라스, 사파이어, SiC, GaN 둥의 웨이퍼에 대응 가능 합니다.

SSY-10000
탁상 로더 시스템: SSY-10000
사람이 손으로 웨이퍼를 취급하는 것에 따른 리스크를 해소하고, 품질 안정과 수율 향상을 목적으로 한 웨이퍼 공급 시스템을 제안합니다.

휨, 얇은 웨이퍼 대응 베르누이 척, 베르누이 핀셋
휨, 얇은 웨이퍼 대응 베르누이 척 (접촉타입/비접촉 타입), 베르누이 핀셋
Low cost & 고객사양 설계의 베르누이 척.