본사 전시장
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전시 로봇
본사 전시장에서는 주력 제품을 중심으로 한 로봇 및 베르누이 척의 전시를 실시하고 있습니다.
방문을 원하시면 아래의 주소로 문의 부탁 드립니다.
- 5축 수평다관절형클린로봇: GTFR5280/
여러가지 웨이퍼 대응 얼라이너: SAL38C3HV - 300mm 대응 반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 EFEM의 웨이퍼 반송에 적용됩니다.
200～300 mm웨이퍼용 각종 웨이퍼 재질에 대응한 신형 얼라이너.
- 300 mm 웨이퍼 25장 일괄 반송: KHR3480
- 25장 웨이퍼를 일괄 이재 가능.
일괄 반송으로 이재 시간을 많은 단축이 가능.
선회축 탑재에 의해 복수 카세트 레이아웃에 대응 가능.
- 5매 일괄 가변척 탑재 로봇: MTCR4160L
- 세로형 노(爐)등의 피치가 다른 카세트에 대한 고속 반송을 실현 했습니다.
- 웨이퍼 반송용 로봇: STCR4160SN-300-CM/
얼라이너: SAL38C2(Optical 얼라이너) - 〜300mm 웨이퍼 대응 트윈 암 로봇으로 저가격, 고속반송, 탈조레스를 실현했습니다.
반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등에서 웨이퍼 위치 결정이 필요한 반송에 대응 가능 합니다.
- 웨이퍼 컨테이너 자동 이송 시스템: SSY-20010
- 프로토스 캐리어내의 얇은 웨이퍼를 안전하고, 확실하게 반송 가능 합니다.
- 탁상용 로더시스템: SSY-10000
- 2, 3 인치, 100mm 글라스, 사파이어, SiC, GaN 둥의 웨이퍼에 대응 가능 합니다.
- 탁상 로더 시스템: SSY-10000
- 사람이 손으로 웨이퍼를 취급하는 것에 따른 리스크를 해소하고, 품질 안정과 수율 향상을 목적으로 한 웨이퍼 공급 시스템을 제안합니다.
