JEL-Leading Manufacturer of Clean Robot

J테크센터

J-tech Center

J-Tech 센터(도쿄의 쇼룸)에서는 주력 제품을 중심으로 한 로봇 및 베르누이 척의 전시를 실시하고 있습니다.
사전에 연락해 주시면, 손님의 Wafer를 사용하여, 동작 확인을 실시하는 것도 가능합니다.
방문을 위하여 아래의 주소로 문의 부탁 드립니다.

J Tech Center 이용안내

  • 베르누이 척 흡착확인
vacuum check

베르누이 척의 흡착확인이 가능한 사이즈는 150mm, 200mm, 300mm입니다.

  • 얼라인먼트 정도 확인
alignment precision measurement

측정치구를 사용하여 고객의 웨이퍼를 사용한 얼라인먼트의 정도측정이 가능 합니다.

  • 로봇 조작 교육
robot operation training

J Tech Center  는 로봇의 실제품을
사용하여 교육이 가능 합니다.
           

창구

창구
주식회사JEL 본사
전화번호
+81-84-932-6500
FAX번호
+81-84-932-6501
E메일


전시제품안내

STCR4160SN-300-CM
300 mm웨이퍼 반송 트윈 로봇: STCR4160SN-300-CM (Closed-loop제어)
슈퍼 크린룸용 3축원통 좌표형 크린 로봇.

GCR4210-300-PM
300 mm웨이퍼 반송 수평다관절형 싱글 암 로봇: GCR4210-300-PM
슈퍼클린룸용 다축 타이프, 4축 수평다관절형 클린로봇 GCR4000-PM 시리즈
300mm 대응 반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 웨이퍼 반송에 적합합니다.

SCR3100S-200-PM/SAL3261GR
2-3인치, 100-150㎜ 웨이퍼 대응 소형반송 로봇/얼라이너: SCR3100S-200-PM/SAL3261GR
1대의 로봇과 1대의 얼라이너로, 2-3인치, 100-150㎜ 웨이퍼에 대응합니다. 컴팩트하고 플렉시빌리티가 풍부한 장치를 제안합니다.

SSCR3090S-150-PM/SAL2241
2 인치 웨이퍼 대응 초소형 반송 로봇/얼라이너:SSCR3090S-150-PM/SAL2241
세계 최고 수준의 최소 및 경량 설계를 실현 했습니다. Aligner는 2, 3 인치, 100 mm 의 Alignment를 1대로 실시 합니다.

SSCR3115N-150-PM/SSCR2090S-PM
소형 로봇&얼라이너 (2, 3 인치, 100 mm용):SSCR3115N-150-PM/SSCR2090S-PM
LED용 Wafer를 시작으로 하는 소형 Wafer, 태양 전지 Wafer등, 소형의 각Wafer의 반송용으로 개발되어, 성풋프린트를 실현한 대기용 반송 Robot입니다. Robot는 암레스와 링크암의 2종류를 준비했습니다.

STCR4160S-300-PM/SAL3481
박막150㎜、200㎜ 웨이퍼 대응 트윈암 반전기구 부착 반송 로봇/얼라이너: STCR4160S-300-PM/SAL3481
박막 웨이퍼의 반송을, JEL제품 베르누이 Chuck으로 제안합니다.150㎜、200㎜ 박막 웨이퍼를, 트윈암 반전 기구의 로봇으로 반송합니다. 또, 150㎜、200㎜ 겸용의 박막용 얼라이너도 함께 제안합니다. 양쪽 암 모두 반전기구 부착으로 150㎜、200㎜를 동시에 반송합니다.

SAL3261HV
박막 2, 3 인치, 100~300mm 웨이퍼 대응 얼라이너: SAL3261HV
2, 3 인치, 100~150mm웨이퍼용 각종 웨이퍼 재질에 대응한 신형 얼라이너.

SAL2081
200 mm웨이퍼 반송 에지 그립 방식 얼라이너: SAL2081
에지 그립 방식으로 실리콘 웨이퍼의 센터링과 노치 위치 결정을 고속, 고정밀도로 실행 가능.

SSY-10000
탁상용 로더시스템: SSY-10000
2, 3 인치, 100 mm글라스, 사파이어, SiC, GaN, 등의 웨이퍼에 대응.

SSY-10020
배치, 서셉터, 트레이 로의 로드/언로드 시스템: SSY-10020
LED용을 비롯한 새로운 반송 방식의 웨이퍼용 반송 시스템입니다. 복수 웨이퍼 처리용 서셉터(트레이)로의 웨이퍼 자동 공급, 자동 회수가 가능합니다.

Bernoulli type end-effector
휨, 얇은 웨이퍼 대응 베르누이 척
Low cost & 고객사양 설계의 베르누이 척.